{"product_id":"3d02200-semi-3d22-en-guide-on-measurements-of-openings-and-vias-in-glass","title":"3D02200 - SEMI 3D22 - ガラスの開口部とビアの測定に関するガイド","description":"\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e終えた\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eガラスビアは、半導体業界の新興技術です。定義\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eガラスの開口部に関する仕様は SEMI 3D11 に記載されており、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e開口部の有無にかかわらず、半導体用途の基板としてのガラスは、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI 3D16でレイアウトされています。ただし、合意されたテストはほとんどないか、まったくありません\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eスルーガラスの物理的および寸法的特性を測定する方法\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eガラスまたはパターンまたは構造のビアまたはその他の開口部。このガイドでは、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \n開口部の既存の試験方法について議論し、新しい方法を提案します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこれ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e半導体に使用される開口部付きガラス基板用のガイドです。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eパッケージングに使用され、一般的なタイプの開口部をすべてガラスで覆います。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eスルー ガラス ビア (TGV)、ガラス内のブラインド ビア、その他の開口部。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこれ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e永久接着を目的としたガラス基板をカバーするガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eアプリケーション。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこれ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの文書ではビアの位置合わせについても説明します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこれ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e文書には、TGV (ガラス貫通ビア) の幾何学的なプロセスが説明されています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \n測定は自動光学検査 (AOI) ツールを使用して行われます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eセミ3D2 —\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eガラスキャリアウェーハの仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI 3D11 — 用語\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eガラス幾何学的計測におけるスルー ガラス ビアおよびブラインド ビア用\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eセミ3D12 —\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e低剛性基板の平面度・形状測定ガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eセミ3D16 —\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e半導体パッケージ用ガラス基材規格\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI 3D22-1219 (Reapproved 0525) - Current","offer_id":43106866987075,"sku":"18509","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI 3D22-1219 - Superseded","offer_id":43106867019843,"sku":"13687","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/3DVolume_acaf8350-a8ec-43a1-b4d7-4a963f561186.png?v=1776701790","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/3d02200-semi-3d22-en-guide-on-measurements-of-openings-and-vias-in-glass","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}