{"product_id":"3d01700-semi-3d17-specification-for-reference-material-for-bonded-wafer-stack-void-metrology","title":"3D01700 - SEMI 3D17 - 接合ウェーハスタックボイド計測用標準物質の仕様","description":"\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e計測システムの開発と校正には、ボイド寸法が既知の接合ウェーハ基準サンプルが必要です。この仕様は、このような接合ウェーハ基準サンプルの作成に使用される詳細を規定しており、SEMI ラウンドロビン研究で使用され、SEMI AUX032-0715「ボイド測定方法のラウンドロビン研究」として発行された 300 mm 基準サンプルに基づいています。シリコンウェーハの結合ペア。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの仕様書は、2 枚のウェーハで構成される接合ウェーハ基準サンプルの設計、製造、認証手順を含む、必要なテスト構造について説明します。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI 3D13 — 接合されたウェーハスタック内のボイドを測定するためのガイド\u003cbr\u003eSEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI 3D17-1123 - Current","offer_id":43106911486019,"sku":"17231","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI 3D17-1217 - Superseded","offer_id":43106911518787,"sku":"998","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/3DVolume_40eb26c9-7af3-4b13-afb8-6bc878670edf.png?v=1776703136","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/3d01700-semi-3d17-specification-for-reference-material-for-bonded-wafer-stack-void-metrology","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}