{"product_id":"3d01200-semi-3d12-guide-for-measuring-flatness-and-shape-of-low-stiffness-wafers","title":"3D01200 - SEMI 3D12 - 低剛性ウェーハの平坦度と形状を測定するためのガイド","description":"\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのガイドは、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eより適切な測定を説明するための定義を提供するように設計されています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \n低剛性ウェーハと形状の戦略。\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eもっと\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e適切な測定プロセスは、ウェーハの代替マウントで構成されます\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e高アスペクト比と高解像度測定の使用。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのガイドも\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e局所的な反りの測定手順を提供します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e平らなウェーハまたは基板の欠陥。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのガイドの\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e代替測定プロセスは、材料の受け入れや検査での使用に適しています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eプロセス制御だけでなく、ウェーハなどの他のアプリケーションにも役立つ可能性があります。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e設計と製造。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのガイドは、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e一般に、ウェーハや\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eパネルなどの他の幾何学的形状。剛性の低下はどのようなものでも発生する可能性があるため、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのガイドは、剛性が低いすべての材料に適用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e特定の変形モード。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e特に直径が以下のガラスおよびシリコンウェーハに適用されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e300mmを超え、厚さが775μm±20μm以下のもの。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのガイドも\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eウェーハまたはその他の幾何学的形状のあらゆる材料タイプに適用されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e弓のテスト時に許容弓許容値の 200% を超えるたわみ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e従来の3点取付方式を採用。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eとはいえ、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eTTV 測定の精度は、反りや反りほどたわみには依存しません。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eつまり、測定時に同じウェーハサポート構成を使用することが理にかなっています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eTTV。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのドキュメント\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e半連続フラットを使用した非破壊手順のガイドです。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e取り付け面と高解像度の測定方法。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cb style=\"font-family: arial; font-size: small;\"\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cspan style=\"font-family: arial; font-size: small;\"\u003e（別途購入）\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI M59 —\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eシリコンテクノロジーの用語\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eセミMF534 —\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eシリコンウェーハの反り試験方法\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eセミMF657 —\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eシリコンスライスの反りおよび総厚さの変化を測定するための試験方法\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e非接触走査方式によるウエハと\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eセミMF1390 —\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eシリコンウェーハの反り・反りを自動測定する試験方法\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e非接触スキャン\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eセミMF1530 —\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e平面度、厚み、厚みばらつきの測定方法\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e自動非接触スキャンによるシリコンウェーハ\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e改訂履歴\u003c\/b\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI 3D12-1020 (技術改訂)\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI 3D12-0315 (初公開)\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cbr\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI 3D12-1020 (Reapproved 0426) - Current","offer_id":43165664804931,"sku":"19104","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI 3D12-1020 - Superseded","offer_id":43165664837699,"sku":"14256","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI 3D12-0315 - 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