{"product_id":"3d003-semi-3d3-guide-for-multiwafer-transport-and-storage-containers-for-300-mm-thin-silicon-wafers-on-tape-frames","title":"3D00300 - SEMI 3D3 - テープフレーム上の 300 mm 薄型シリコンウェーハ用マルチウェーハ輸送および保管コンテナのガイド","description":"\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこのガイドは、最終目的地に損傷なく到着するような方法で、テープ フレームに薄いウェーハを輸送する方法を選択するニーズに応えることを目的としています。薄いウェーハをテープ フレームに乗せて輸送するさまざまな方法について説明します。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e薄いウェーハを損傷なく輸送するには、いくつかの相互作用要因があるため、適切な輸送および保管コンテナを使用する必要があります。そのうちの最も重要な要因をここに示します。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e寸法による脆弱性の増加により、標準的なウェーハの厚さは直径の増加に伴って増加していますが、3 次元積層 IC (3DS-IC) のプロセス フローではその傾向を逆転させ、より短いスルースルーを可能にするために、より薄い、したがってはるかに脆弱なウェーハを使用しています。 - ウェーハの相互接続とスタックの総体積の削減。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eスタッキングプロセス、特に異種集積では、複数のソースからのウェーハを使用する必要があり、これはウェーハを場所から場所へと輸送する必要があることを意味します。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e約1mの高さから荷物を落とすと、100g程度の衝撃がかかります。このような事態が発生すると、適切に保護されていないウェーハが簡単に破損する可能性があります。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこのガイドは、SEMI G74 または SEMI G87 に準拠したテープ フレームにダイシング テープに取り付けられた薄いウェーハを輸送するために必要なコンテナに関する情報をユーザーに提供します。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこのガイドでは、公称直径 300 mm のシリコン ウェーハの出荷について説明します。 300 mm (公称) シリコン ウェーハの実際の直径は、エッジ トリムによる材料の除去により 300 mm 未満になる場合があります。キャリアウェーハとして使用するために特別に製造された 300 mm シリコンウェーハの直径は 300 mm を超える場合があります。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e公称 300 mm ウェーハの最大直径は 301 mm\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e公称 300 mm ウェーハには固定の最小直径はありません。エッジトリムやその他のプロセスはまだ標準化されていません。したがって、公称 300 mm ウェーハの実際の直径はミリメートルよりも小さい可能性があります。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこのガイドはシリコン以外の材料にも役立つ場合がありますが、それはこの文書の範囲を超えています。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI G74 — 300 mm ウェーハ用テープフレームの仕様\u003cbr\u003eSEMI G87 — 300 mm ウェーハ用プラスチックテープフレームの仕様\u003cbr\u003eSEMI G94 — 300mmウェーハ用コインスタック型テープフレーム輸送コンテナ仕様書\u003cbr\u003eSEMI M31 — 300 mm ウェーハの輸送および出荷に使用される前開き輸送ボックスの機械仕様\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI 3D3-1123 - Current","offer_id":43106911879235,"sku":"17230","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI 3D3-0613 (Reapproved 1218) - Superseded","offer_id":43106911912003,"sku":"10341","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI 3D3-0613 - 置き換えられました","offer_id":40234229760067,"sku":"1001","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/3DVolume_3509e7a2-7305-4f96-8e3f-9168f338d86d.png?v=1776703146","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/3d003-semi-3d3-guide-for-multiwafer-transport-and-storage-containers-for-300-mm-thin-silicon-wafers-on-tape-frames","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}