{"product_id":"p04700-semi-p47-ラインエッジラフネスline-edge-roughnessおよびライン幅ラフネスline-width-roughness測定の試験方法","title":"P04700 - SEMI P47 - ラインエッジラフネス（Line Edge Roughness）およびライン幅ラフネス（Line Width Roughness）測定の試験方法","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0pt 21pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本スタンダードは，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eglobal \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-family: TimesNewRomanPSMT\"\u003eMicrolithography\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e Committee\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2006\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e11\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e21\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e日，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eにて発行が承認された。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2007\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月に\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003ewww.semi.org\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで，そして\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2007\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e3\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月に\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eCD-ROM\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能となる。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e本文書の目的は，微細ラインパターン形成，特に\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003eIC\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e製造の材料およびプロセスを評価するために以下にあげる二種類のライン凹凸指標を計算する際の，標準的な手順を定めることである。第一の指標は実際のラインエッジの位置が理想的な（最もよくフィットする）ラインエッジからどの程度ずれているかに関係し，ラインエッジラフネスと呼ばれるものである。第二の指標は，局所的なライン幅の変動を定義し，ライン幅ラフネスと呼ばれる。\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI P19 — Specification for Metrology Pattern Cells for Integrated Circuit Manufacture \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI P35 — Terminology for Microlithography Metrology \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI P36 — Guideline of Magnification Reference for Critical Dimension Measurement Scanning Electron Microscopes \u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P47-0307 - Superseded","offer_id":40234368041027,"sku":"13001","price":204.95,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_e7888d10-c483-47b6-bb59-5854f2920ec7.png?v=1776701858","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-nl\/products\/p04700-semi-p47-%e3%83%a9%e3%82%a4%e3%83%b3%e3%82%a8%e3%83%83%e3%82%b8%e3%83%a9%e3%83%95%e3%83%8d%e3%82%b9line-edge-roughness%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e3%83%a9%e3%82%a4%e3%83%b3%e5%b9%85%e3%83%a9%e3%83%95%e3%83%8d%e3%82%b9line-width-roughness%e6%b8%ac%e5%ae%9a%e3%81%ae%e8%a9%a6%e9%a8%93%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}