{"product_id":"m07300-semi-m73-測定したウェーハエッジプロファイルから直接的関連性ある特性を抽出するテスト方法","title":"M07300 - SEMI M73 - 測定したウェーハエッジプロファイルから直接的関連性ある特性を抽出するテスト方法","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本スタンダードは，global Silicon Wafer Committee\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e2008\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e11\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e月\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e19\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e日，\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eにて発行が承認された。2009\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年2\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にwww.semi.org\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで，そして2009\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年3\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にCD-ROM\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能となる。\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e初版は\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2008\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e11\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に発行された。\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-WEIGHT: normal; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eSEMI M1\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eではシリコンウェーハエッジ形状の輪郭線をテンプレートで規格化しているが，その方法では複数のシリコンサプライヤーによって製造されたウェーハエッジプロファイルに規格内ではあるが広い変動を許す余地がある。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-WEIGHT: normal; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e多くの先端ウェーハ応用では，引続く電子回路製造工程での変動を制御するためにエッジプロファイルのもっと狭い規格化が要求されている。これらの規格にはしばしばエッジプロファイル輪郭の部位を記述する幾つかの特性の値を含む。\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-WEIGHT: normal; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eエッジプロファイルに関するより狭い許容誤差を規定することに対する先行必要条件はエッジプロファイルを記述するために使われる直接的関連性ある特性の名称と測定したエッジプロファイルからこれらの特性を抽出するための方法についての取決めである。それ故これらのテスト方法では，シリコンウェーハエッジプロファイルの特性を述べるために使われる用語が命名されその意味が概略図形で例証される。\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-WEIGHT: normal; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; FONT-WEIGHT: normal; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eこの標準は測定したエッジプロファイルからこれらの特性を導出するための二つのテスト方法を包む。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 9pt; FONT-WEIGHT: normal; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI M1 — Specification for Polished Single Crystal Silicon Wafers \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI M20 — Practice for Establishing a Wafer Coordinate System \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI M59 — Terminology for Silicon Technology \u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M73-1013 - Superseded","offer_id":40234366959683,"sku":"9737","price":204.95,"currency_code":"EUR","in_stock":true},{"title":"SEMI M73-0309 - Superseded","offer_id":40234366992451,"sku":"9735","price":204.95,"currency_code":"EUR","in_stock":true},{"title":"SEMI M73-1108 - Superseded","offer_id":40234367025219,"sku":"9739","price":204.95,"currency_code":"EUR","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_d51aebe7-0747-4ded-b7ca-c506aa95b612.png?v=1776702032","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-nl\/products\/m07300-semi-m73-%e6%b8%ac%e5%ae%9a%e3%81%97%e3%81%9f%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e3%82%a8%e3%83%83%e3%82%b8%e3%83%97%e3%83%ad%e3%83%95%e3%82%a1%e3%82%a4%e3%83%ab%e3%81%8b%e3%82%89%e7%9b%b4%e6%8e%a5%e7%9a%84%e9%96%a2%e9%80%a3%e6%80%a7%e3%81%82%e3%82%8b%e7%89%b9%e6%80%a7%e3%82%92%e6%8a%bd%e5%87%ba%e3%81%99%e3%82%8b%e3%83%86%e3%82%b9%e3%83%88%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}