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S01200 - SEMI S12 - 装置の汚染除去に対する環境，健康および安全ガイドライン
SEMI S12 - 装置の汚染除去に対する環境，健康および安全ガイドライン Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €204,95
E09700 - SEMI E97 - CIMフレームワークグローバル宣言および抽象インタフェースに関する暫定仕様
SEMI E97 - CIMフレームワークグローバル宣言および抽象インタフェースに関する暫定仕様 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €204,95
E09800 - SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル（OBEM）暫定スタンダード
SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル（OBEM）暫定スタンダード Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €204,95
F09300 - SEMI F93 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様
SEMI F93 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €204,95
E08900 - SEMI E89 - 測定システム分析（MSA）のガイド
SEMI E89 - 測定システム分析（MSA）のガイド Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €204,95
S00600 - SEMI S6 - 半導體製造設備排氣通風基準
SEMI S6 - 半導體製造設備排氣通風基準 Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €336,95
MS00100 - SEMI MS1 - Guide to Specifying Wafer-Wafer Bonding Alignment Targets
SEMI MS1 - Guide to Specifying Wafer-Wafer Bonding Alignment Targets Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
F08900 - SEMI F89 - Specification for Dimension of Compact Size Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters for 1.5 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F89 - Specification for Dimension of Compact Size Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters for 1.5 Inch Type Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
MS01000 - SEMI MS10 - Test Method to Measure Fluid Permeation Through MEMS Packaging Materials
SEMI MS10 - Test Method to Measure Fluid Permeation Through MEMS Packaging Materials Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
F01000 - SEMI F10 - Test Method to Determine the Internal Pressure Required to Produce a Failure of a Tube Fitting Connection Made of Fluorocarbon Materials
SEMI F10 - Test Method to Determine the Internal Pressure Required to Produce a Failure of a Tube Fitting Connection Made of Fluorocarbon Materials Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
F06500 - SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様
SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €204,95
S02900 - SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド
SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €204,95
F08700 - SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
F00900 - SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブフィッティング接合部の漏洩特性を測定する試験方法
SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブフィッティング接合部の漏洩特性を測定する試験方法 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €204,95
F10600 - SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法
SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €204,95
E08100 - SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture
SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
MS00200 - SEMI MS2 - Test Method for Step Height Measurements of Thin Films
SEMI MS2 - Test Method for Step Height Measurements of Thin Films Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
F00400 - SEMI F4 - Specification for Pneumatically Actuated Cylinder Valves
SEMI F4 - Specification for Pneumatically Actuated Cylinder Valves Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
F04600 - SEMI F46 - Guide for On-Site Chemical Generation (OSCG) Systems
SEMI F46 - Guide for On-Site Chemical Generation (OSCG) Systems Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
S01800 - SEMI S18 - 矽烷族氣體處理之安全衛生及環保基準
SEMI S18 - 矽烷族氣體處理之安全衛生及環保基準 Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
S02200 - SEMI S22 - 半導体製造装置の電気設計のための安全に関するガイドライン
SEMI S22 - 半導体製造装置の電気設計のための安全に関するガイドライン Sale priceMember Price: €270,00
Non-Member Price: €405,95
F00800 - SEMI F8 - Test Method for Evaluating the Sealing Capabilities of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials, When Subjected to Tensile Forces
SEMI F8 - Test Method for Evaluating the Sealing Capabilities of Tube Fitting Connections Made of Fluorocarbon Materials, When Subjected to Tensile Forces Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
F09500 - SEMI F95 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネントの寸法のための仕様
SEMI F95 - 1.5インチタイプ4ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用3ポートコンポーネントの寸法のための仕様 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €204,95
E09700 - SEMI E97 - Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces
SEMI E97 - Provisional Specification for CIM Framework Global Declarations and Abstract Interfaces Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
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