SEMI 3D16 - Specification for Glass Base Material for Semiconductor Packaging

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E10300 - SEMI E103 - Mechanical Specification for a 300 mm Single-wafer Box System that Emulates a FOUP
SEMI E103 - Mechanical Specification for a 300 mm Single-wafer Box System that Emulates a FOUP Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
MS01000 - SEMI MS10 - Test Method to Measure Fluid Permeation Through MEMS Packaging Materials
SEMI MS10 - Test Method to Measure Fluid Permeation Through MEMS Packaging Materials Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
F01000 - SEMI F10 - Test Method to Determine the Internal Pressure Required to Produce a Failure of a Tube Fitting Connection Made of Fluorocarbon Materials
SEMI F10 - Test Method to Determine the Internal Pressure Required to Produce a Failure of a Tube Fitting Connection Made of Fluorocarbon Materials Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
E08200 - SEMI E82 - 工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM）
SEMI E82 - 工程間／工程内AMHS SEMの仕様（IBSEM） Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €205,95
S02900 - SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド
SEMI S29 - フッ素系温室効果ガス（F-GHG）排出の特性評価と削減に関するガイド Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €205,95
F06500 - SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様
SEMI F65 - ミリサイズのPFAチューブとともに使用するダイアフラムバルブの取付ベースの寸法仕様 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €205,95
E01400 - SEMI E14 - Measurement of Particle Contamination Contributed to the Product from the Process or Support Tool
SEMI E14 - Measurement of Particle Contamination Contributed to the Product from the Process or Support Tool Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
F08700 - SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems
SEMI F87 - Specification for Dimension of Three Port Components (Except MFC/MFM) for 1.125 Inch Type Four Fastener Configuration Surface Mount Gas Distribution Systems Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
F00900 - SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブフィッティング接合部の漏洩特性を測定する試験方法
SEMI F9 - サイドロード状態に置かれた場合のフロロカーボン製チューブフィッティング接合部の漏洩特性を測定する試験方法 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €205,95
F10600 - SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法
SEMI F106 - ヘリウム漏れ検出器によるガス供給システムの漏れ完全性を確認するためのテスト方法 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €205,95
E13200 - SEMI E132 - 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양
SEMI E132 - 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양 Sale priceMember Price: €113,00
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S00900 - SEMI S9 - Guide to Electrical Design Verification Tests for Semiconductor Manufacturing Equipment that have Been Moved to SEMI S22
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Non-Member Price: €171,95
E01600 - SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド
SEMI E16 - マスフローコントローラ漏洩率の決定および記述のガイド Sale priceMember Price: €135,00
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S01000 - SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인
SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인 Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
E05200 - SEMI E52 - デジタルマスフローコントローラで使用されるガス，ガス混合物および気化して使用する材料の参照表
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E08100 - SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture
SEMI E81 - Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture Sale priceMember Price: €113,00
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S00200 - SEMI S2 - 半導体製造装置の環境，健康，安全に関するガイドライン
SEMI S2 - 半導体製造装置の環境，健康，安全に関するガイドライン Sale priceMember Price: €270,00
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MS00200 - SEMI MS2 - Test Method for Step Height Measurements of Thin Films
SEMI MS2 - Test Method for Step Height Measurements of Thin Films Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
F00400 - SEMI F4 - Specification for Pneumatically Actuated Cylinder Valves
SEMI F4 - Specification for Pneumatically Actuated Cylinder Valves Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95
E05600 - SEMI E56 - 熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法
SEMI E56 - 熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法 Sale priceMember Price: €135,00
Non-Member Price: €205,95
E13300 - SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインタフェースの仕様
SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインタフェースの仕様 Sale priceMember Price: €135,00
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E00500 - SEMI E5 - SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메세지 내용
SEMI E5 - SEMI 장비 커뮤니케이션 표준2 메세지 내용 Sale priceMember Price: €113,00
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E08800 - SEMI E88 - AMHS保管SEM（ストッカーSEM）の仕様
SEMI E88 - AMHS保管SEM（ストッカーSEM）の仕様 Sale priceMember Price: €135,00
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S01800 - SEMI S18 - 矽烷族氣體處理之安全衛生及環保基準
SEMI S18 - 矽烷族氣體處理之安全衛生及環保基準 Sale priceMember Price: €113,00
Non-Member Price: €171,95