{"product_id":"s02900-semi-s29-針對含氟溫室氣體f-ghg排放特性描述與減量之指導書","title":"S02900 - SEMI S29 - 針對含氟溫室氣體(F-GHG)排放特性描述與減量之指導書","description":"\u003cfont face=\"DFKai-SB\"\u003e\u003cfont face=\"DFKai-SB\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本標準由全球環境、衛生及安全技術委員會\u003cfont size=\"2\"\u003e(Environmental Health \u0026amp; Safety Technical Committee)技術核可，本版於2012年6月18日由全球審核與覆檢小組委員會核可，2012年7月間可以於www.semiviews.org及www.semi.org取得。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本文件提供指導用以評估由製造設備\u003cfont size=\"2\"\u003e(ME)所排放的含氟溫室氣體(F-GHG)。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本文件提供指導用以評估尾氣處理設備對\u003cfont size=\"2\"\u003eF-GHG破壞或去除效率(DRE)。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本文件也提出製造設備或尾氣處理設備排放減量之持續改善計畫。\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e適用於本指引的溫室氣體\u003cfont size=\"2\"\u003e(GHG)為CF\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e，C\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e6\u003c\/sub\u003e，C\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e，c-C\u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003eF\u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e，CHF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e，SF\u003csub\u003e6\u003c\/sub\u003e與NF\u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本指引應用於製造設備的\u003cfont size=\"2\"\u003eF-GHG排放評估。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本指引應用於尾氣處理設備的\u003cfont size=\"2\"\u003eF-GHG排放評估。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本指引應用於製造設備在化學反應後，\u003cfont size=\"2\"\u003eF-GHG的消耗、殘留物、副產品或重組之評估。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本指引適用於尾氣處理設備對\u003cfont size=\"2\"\u003eF-GHG之去除效率(DRE)規格。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e建議至少半導體、\u003cfont size=\"2\"\u003eTFT-LCD、太陽光電產業使用本指引。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本指引包含下列段落：\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e目的\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e範疇\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e限制條件\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e參考標準與文件\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e專門用語\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e通用條款\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e基礎配方\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e量測儀器\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eF-GHG\u003cfont size=\"2\"\u003e排放的量測與評估\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eF-GHG\u003cfont size=\"2\"\u003e排放評估的時機與頻率\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e報告\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e評估資料的保存紀錄\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e里程圖與持續改善\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cfont face=\"DFKai-SB\"\u003e\u003cfont face=\"DFKai-SB\"\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment\u003cbr\u003e SEMI S23 — Guide for Conservation of Energy, Utilities and Materials Used by Semiconductor Manufacturing Equipment\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI S29-0712 - Inactive","offer_id":40234345070659,"sku":"6922","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/SVolume_cf2f7d00-dd64-4634-b269-6ef35539b097.png?v=1776702177","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/s02900-semi-s29-%e9%87%9d%e5%b0%8d%e5%90%ab%e6%b0%9f%e6%ba%ab%e5%ae%a4%e6%b0%a3%e9%ab%94f-ghg%e6%8e%92%e6%94%be%e7%89%b9%e6%80%a7%e6%8f%8f%e8%bf%b0%e8%88%87%e6%b8%9b%e9%87%8f%e4%b9%8b%e6%8c%87%e5%b0%8e%e6%9b%b8","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}