{"product_id":"s02800-semi-s28-針對預計應用於半導體生產設備之機器人與之安全指導方針","title":"S02800 - SEMI S28 - 針對預計應用於半導體生產設備之機器人與之安全指導方針","description":"\u003cfont face=\"DFKai-SB\"\u003e\u003cfont face=\"DFKai-SB\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本安全指導方針由全球環境、衛生及安全技術委員會\u003cfont size=\"2\"\u003e(Environmental Health \u0026amp; Safety Technical Committee)技術核可，本版於2011年9月12日由全球審核與覆檢小組委員會核可，自2011年10月起可以於\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003ewww.semiviews.org\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e及\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003ewww.semi.org\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e取得。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e注意：段落標示為\u003cfont size=\"2\"\u003e\"註\"\u003cfont size=\"2\"\u003e者不屬於本指導方針之正式部分，亦非用以更改或取代正式指導方針。該部份為委員會補充，以增強本指導方針的應用性。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e注意：在此指導方針中所稱\u003cfont size=\"2\"\u003e\"應該\"條款之一致性必須宣告與本文件之一致性，所稱\"可能\"、\"建議\"、\"首選\"、\"推薦\"、\"注意\"或\"相關資訊\"條款則並不一定要宣告其一致性。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本安全指導方針針對預計整合至半導體生產設備\u003cfont size=\"2\"\u003e(SME)之承載埠與晶圓搬運裝卸機器人，提供以效能與設計為基礎的安全考量。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本安全指導方針在\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI S2所涵蓋的一般範圍外，提供額外指示予承載埠與晶圓搬運裝卸機器人製造商。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本安全指導方針涵蓋預計整合至\u003cfont size=\"2\"\u003eSME之承載埠與晶圓搬運裝卸機器人之基本安全問題，但可能未涵蓋工業機器人之其他適用安全指導方針與標準。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本安全指導方針於整合前提供安全評估指示予承載埠與晶圓搬運裝卸機器人。\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本安全指導方針協助\u003cfont size=\"2\"\u003eSME承載埠與晶圓搬運裝卸機器人設計師預先考慮整合期間會產生的安全考量。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本安全指導方針指示承載埠與晶圓搬運裝卸機器人供應商予涉及整合者所需關於其完成\u003cfont size=\"2\"\u003eSME系統安全評估之文件內容。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本安全指導方針適用於依供應商之意圖製造，並整合至半導體製造設備之氣動與真空晶圓搬運裝卸機器人。\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本安全指導方針適用於與前開式晶圓傳送盒\u003cfont size=\"2\"\u003e(FOUP)、標準機械介面(SMIF)傳送盒連接之承載埠與晶圓匣，及此類將整合至半導體生產設備者。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本安全指導方針包含工業機器人之安全標準以外所附加之安全考量。\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本安全指導方針適用於獨立於\u003cfont size=\"2\"\u003eSME外所評估之晶圓搬運裝卸機器人與承載埠。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e§8\u003cfont size=\"2\"\u003e中的文件條款將適用於本安全指導方針發行後所售出之承載埠與晶圓搬運裝卸機器人，無論其設計或開發日期為何。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本文件包含下列部分：\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e1. \u003cfont size=\"2\"\u003e目的\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e2. \u003cfont size=\"2\"\u003e範疇\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e3. \u003cfont size=\"2\"\u003e限制條件\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e4. \u003cfont size=\"2\"\u003e參考標準與文件\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e5. \u003cfont size=\"2\"\u003e專門用語\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e6. \u003cfont size=\"2\"\u003e一般考量\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e7. WHR(\u003cfont size=\"2\"\u003e晶圓搬運裝卸機器人)與承載埠之安全特性\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e8. \u003cfont size=\"2\"\u003e提供給整合者之資訊\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E19.4 — 200 mm Standard Mechanical Interface (SMIF)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E62 — Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E63 — Mechanical Specification for 300 mm Box Opener\/Loader to Tool Standard (BOLTS-M) Interface\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E92 — Specification for 300 mm Light Weight and Compact Box Opener\/Loader to Tool-Interoperability Standard (BOLTS\/Light)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E100 — Specification for a Reticle SMIF Pod (RSP) Used to Transport and Store 6 inch or 230 mm Reticles\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E117 — Specification for Reticle Load Port\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment \u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S17 — Safety Guideline for Unmanned Transport Vehicle (UTV) Systems\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S22 — Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S26 — Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cfont\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI S28-1011 - 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