{"product_id":"s02800-semi-s28-半導体製造装置用ロボットおよびロードポートの安全ガイドライン","title":"S02800 - SEMI S28 - 半導体製造装置用ロボットおよびロードポートの安全ガイドライン","description":"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本安全ガイドラインは，\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eglobal Environmental Health \u0026amp; Safety Committee\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2011\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e9\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e12\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e日，\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eにて発行が承認された。\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2011\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e10\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月に\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003ewww.semiviews.org\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eおよび\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e www.semi.org\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eで入手可能となる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本安全ガイドラインは，半導体製造装置（\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eSME\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e）への統合が意図されたロードポートおよびウェーハハンドリングロボットに関する，一連の性能および設計安全基準を提供する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本安全ガイドラインは，\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eSEMI S2\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eの一般的範囲を超えたロードポートおよびウェーハハンドリングロボットの製造業者に対して追加のガイダンスを提供する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本安全ガイドラインでは，\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eSME\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eへの統合が意図されたロードポートおよびウェーハハンドリングロボットにとって本質的な安全性の問題のうち，産業用ロボットに適用される他の安全ガイドラインおよびスタンダードで扱われていないかもしれない問題を扱う。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本安全ガイドラインは，統合される前のロードポートおよびウェーハハンドリングロボットの安全性評価に関するガイダンスを提供する。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本安全ガイドラインは，ロードポートおよびウェーハハンドリングロボットの設計者が，\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eSME\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eへの統合に際して生じる安全上の考慮事項を予想する助けとなる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本安全ガイドラインは，ロードポートおよびウェーハハンドリングロボットのサプライヤに対し，インテグレータによる完成した\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eSME\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eシステムの安全性評価に必要な文書の内容に関する指針を示す。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E19.4 — 200 mm Standard Mechanical Interface (SMIF)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E62 — Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E63 — Mechanical Specification for 300 mm Box Opener\/Loader to Tool Standard (BOLTS-M) Interface\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E92 — Specification for 300 mm Light Weight and Compact Box Opener\/Loader to Tool-Interoperability Standard (BOLTS\/Light)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E100 — Specification for a Reticle SMIF Pod (RSP) Used to Transport and Store 6 inch or 230 mm Reticles\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E117 — Specification for Reticle Load Port\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment \u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S17 — Safety Guideline for Unmanned Transport Vehicle (UTV) Systems\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S22 — Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S26 — Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cfont\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI 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