{"product_id":"s02300-semi-s23-半導体製造装置で使用されるエネルギー-ユーティリティ-および材料の保全のためのガイド","title":"S02300 - SEMI S23 - 半導体製造装置で使用されるエネルギー，ユーティリティ，および材料の保全のためのガイド","description":"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eglobal Environmental Health \u0026amp; Safety Committee\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2011\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e3\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e日，\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eにて発行が承認された。\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2011\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e3\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月に\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003ewww.semiviews.org\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eおよび\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003ewww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2005\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e3\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月発行，前版は\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2008\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e7\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月に発行された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本ガイドでは，半導体製造装置で使用するエネルギー，ユーティリティ，および材料の保全に関するコンセプトを取り上げる。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本ガイドでは，半導体製造装置におけるエネルギー，ユーティリティ，および材料の使用に関する測定を取り上げる。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eエネルギー，ユーティリティ，および材料の保全を促進するため，本ガイドでは，半導体製造装置におけるエネルギー，ユーティリティ，および材料の使用に関する継続的な改善計画を取り上げる。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本ガイドでは，一連のオプションや説明事項を通して，エネルギー，ユーティリティ，および材料の保全のために利用できる技術についてユーザの知識向上を図る。ユーティリティと材料の使用測定のための，あるいは使用測定を等価エネルギーに換算するための特定の実行手順を提案する。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E6 — Guide for Semiconductor Equipment Installation Documentation\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S2 — Environment, Health and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI S23-0813 - Superseded","offer_id":40234345988163,"sku":"6907","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S23-0311 - Superseded","offer_id":40234346217539,"sku":"6904","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S23-0708 - 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