{"product_id":"s00800-semi-s8-半導体製造装置の人間工学エンジニアリングに対する安全ガイドライン","title":"S00800 - SEMI S8 - 半導体製造装置の人間工学エンジニアリングに対する安全ガイドライン","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e免責事項：　この\u003cfont face=\"Arial\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e注意：　本安全ガイドラインで使われる公式な値は，国際単位系（\u003cfont face=\"Arial\"\u003eSI\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e）によって表示されている。数字データのうち，\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cul style=\"font-family: Arial;\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eインチ \u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e－\u003cfont face=\"Arial\"\u003e \u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003eポンド系で表示されているもの（アメリカ慣習単位系または英単位系としても知られる）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\" size=\"2\"\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e括弧でくくられているもの\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003eSI\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e単位系に続いて表示されているもの\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eは，公式でなく，参考値である。また，\u003cfont face=\"Arial\"\u003eSI\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e値の正確な変換値でない場合もある。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e注意：　「注」の表題のついた段落は，本安全ガイドラインの公式な一部ではなく，また安全ガイドライン本文の内容の変更や書き換えを意図したものではない。安全ガイドラインの利用を促進するために委員会が提供したものである。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本安全ガイドラインは，半導体製造装置の人間工学的設計原則と，考慮すべき事項を規定する。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本安全ガイドラインの目的は，製造環境下のユーザと装置間の融和性を高めるためのものである。以下に示す一般原則は，人間工学設計および装置評価をするために必須である。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e装置の設計においては，作業を分類することによって安全性を最大限にする設計をすべきである。各々の能力を最適化し，制限や危険を最小限にするために，ハードウェア，ソフトウェア，ユーザの\u003cfont face=\"Arial\"\u003e3\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eつに作業を分類すべきである。さらに，適正な作業の分類は，仕事の効率を高める。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e過失や事故の潜在性を最小限に抑えるため，ユーザの期待に沿うような装置設計をすべきである。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e装置設計においては，ユーザ集団に対し予測できる体型，体力，動作の特質の範囲に合わせたものとし，疲労および傷害を最小化する設計にすべきである。このような設計は，作業実行を容易にする。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本ガイドラインは，半導体製造装置設計における，人間工学エンジニアリングの安全性について定めるものである。ここで注目すべきことは，潜在的危険を包括的にとらえるため，いくつかのガイドラインは，人と機械間の作業実行を効果的にするための設計全般の目標について定めている点である。ガイドラインが適用されるものは，半導体製造装置の設計，操作，保守，サービス，および限定された範囲での装置据付（\u003cfont face=\"Arial\"\u003e¶7.3\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e参照）である。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"font-family: Arial;\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e\u003cb style=\"\"\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003eSEMI E95 — Specification for Human Interface for Semiconductor Manufacturing Equipment\u003cbr\u003e SEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment\u003cbr\u003e SEMI S10 — Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI 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