{"product_id":"s00300-semi-s3-プロセス用液体の加熱システムに関する安全ガイドライン","title":"S00300 - SEMI S3 - プロセス用液体の加熱システムに関する安全ガイドライン","description":"\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e\u003cb style=\"\"\u003e注意： \u003c\/b\u003e「注」で始まるパラグラフは，本文書の公式な一部ではなく，また本文書の内容の変更や書き換えを意図したものではない。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cb style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/b\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e注意：\u003c\/b\u003e本文書への適合を宣言するには，「すべきである（should\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）」と記載された要件に適合する必要がある。適合を宣言するには，「してもよい，できる（may\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）」，「提案される（suggested\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）」，「好ましい（preferred\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）」，「推奨される（recommended\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）」と記載された要件，または注記や関連情報に適合する必要はない。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e本安全ガイドラインの目的は，半導体およびフラットパネルディスプレイの製造で用いられるプロセス用液体の温度を変更または維持するために用いられる加熱システムの設計および文書作成に関して，最低限の一般的な安全上の考慮事項を提供することである。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e本安全ガイドラインでは，プロセス用液体の加熱システム（PLHS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）に関して（SEMI S10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eおよびSEMI S14\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eの規定による）Low\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e以下のレベルのリスクを実現するための複数の手段（表1\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e参照）を提供する。ただし，用いる手段の選択は，本文書への適合を判断する基準ではない。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e複数の一般的なPLHS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eの構成に関して，本安全ガイドラインでは，PLHS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eに組み込まれる安全機能の詳細を記述したリストを提供する。また，これらの安全機能に関する設計・性能基準も提供する。安全機能の詳細を記述したリストおよびこれらの安全機能に関する設計および性能基準の両方に適合するPLHS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eは，（SEMI S10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eおよびSEMI S14\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eの規定による）Low\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e以下のレベルのリスクを実現するものと見なされ，その結果，本安全ガイドラインに適合する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eSEMI S10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eおよびSEMI S14\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eを用い，本文書で検討される危険源を考慮して評価したとき，装置のリスクがLow\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e以下のレベルになるように選択・設計された安全機能を組み込んでPLHS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eを設計することにより，本安全ガイドラインへの適合が達成される場合がある。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e\u003cb style=\"\"\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003eSEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment\u003cbr\u003e SEMI S6 — EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment\u003cbr\u003e SEMI S10 — Safety Guidelines for Risk Assessment and Risk Evaluation Process\u003cbr\u003e SEMI S14 — Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment\u003cbr\u003e SEMI S22 — Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI S3-1211 (Reapproved 1017)E - Current","offer_id":40234327507011,"sku":"13850","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S3-1211 - Superseded","offer_id":40234327638083,"sku":"5557","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S3-0306 - Superseded","offer_id":40234327834691,"sku":"6667","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/SVolume_3c844d0e-d1fa-41a4-b1f3-15e2914131c4.png?v=1776702366","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/s00300-semi-s3-%e3%83%97%e3%83%ad%e3%82%bb%e3%82%b9%e7%94%a8%e6%b6%b2%e4%bd%93%e3%81%ae%e5%8a%a0%e7%86%b1%e3%82%b7%e3%82%b9%e3%83%86%e3%83%a0%e3%81%ab%e9%96%a2%e3%81%99%e3%82%8b%e5%ae%89%e5%85%a8%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89%e3%83%a9%e3%82%a4%e3%83%b3","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}