{"product_id":"p04000-semi-p40-極紫外線リソグラフィマスクの取り付けに関する要求条件およびアライメント基準位置の仕様","title":"P04000 - SEMI P40 - 極紫外線リソグラフィマスクの取り付けに関する要求条件およびアライメント基準位置の仕様","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0pt 21pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本スタンダードは，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eGlobal Micropatterning Committee\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで技術的に承認されたもので，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eNorth American Micropatterning Committee\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eが直接責任を負うものである。現版は，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2003\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e9\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e3\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e日\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eNorth American Regional Standards Committee\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eにて承認されている。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2003\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e9\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にまず\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003ewww.semi.org\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能になり，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2003\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e11\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月発行に至る。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eこの仕様は，極紫外線リソグラフィ（\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eEUVL\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e）のマスクの取り付けに関する要求条件について記載する。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI P37 — Specification for Extreme Ultraviolet Lithography Mask Substrates \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI P38 — Specification for Absorbing Film Stacks and Multilayers on Extreme Ultraviolet Lithography Mask Blanks \u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P40-1103 - Superseded","offer_id":40234373611587,"sku":"12984","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_e3eef712-08fa-4469-9ceb-0650d25296b3.png?v=1776701861","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/p04000-semi-p40-%e6%a5%b5%e7%b4%ab%e5%a4%96%e7%b7%9a%e3%83%aa%e3%82%bd%e3%82%b0%e3%83%a9%e3%83%95%e3%82%a3%e3%83%9e%e3%82%b9%e3%82%af%e3%81%ae%e5%8f%96%e3%82%8a%e4%bb%98%e3%81%91%e3%81%ab%e9%96%a2%e3%81%99%e3%82%8b%e8%a6%81%e6%b1%82%e6%9d%a1%e4%bb%b6%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e3%82%a2%e3%83%a9%e3%82%a4%e3%83%a1%e3%83%b3%e3%83%88%e5%9f%ba%e6%ba%96%e4%bd%8d%e7%bd%ae%e3%81%ae%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}