{"product_id":"p01400-semi-p14-黒鉛炉原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト中の錫の測定","title":"P01400 - SEMI P14 - 黒鉛炉原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト中の錫の測定","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e免責事項：　この\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこの手順は，フォトレジスト中の錫に対する黒鉛炉原子吸光分析法を述べたものである。サンプルが\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e1:10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで希釈される場合，適用し得る濃度範囲は0.1\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eから1 ppm\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eである。精度は，4\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eつの研究所間における持ちまわり分析において，0.1 ppm\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e以内であることが分かっている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eNone.\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P14-0997 - Inactive","offer_id":40234359619651,"sku":"11298","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_f8ced0c6-71d1-48b0-be7f-deeb9a282b48.png?v=1776701983","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/p01400-semi-p14-%e9%bb%92%e9%89%9b%e7%82%89%e5%8e%9f%e5%ad%90%e5%90%b8%e5%85%89%e5%88%86%e5%85%89%e6%b3%95%e3%81%ab%e3%82%88%e3%82%8b%e3%83%9d%e3%82%b8%e3%83%86%e3%82%a3%e3%83%96%e3%83%95%e3%82%a9%e3%83%88%e3%83%ac%e3%82%b8%e3%82%b9%e3%83%88%e4%b8%ad%e3%81%ae%e9%8c%ab%e3%81%ae%e6%b8%ac%e5%ae%9a","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}