{"product_id":"p00900-semi-p9-マイクロエレクトロニクス用レジストの機能的なテストガイドライン","title":"P00900 - SEMI P9 - マイクロエレクトロニクス用レジストの機能的なテスト（ガイドライン）","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e免責事項：　この\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこのガイドラインの目的は，液体で現像されるレジスト，レジスト現像液，及びマイクロエレクトロニクス用デバイスのためのリンスを機能的にテストするのに必要なテスト手順の基礎的プログラムを規定することである。それは更にそのようなシステムに対するプロセス修正を評価するためのガイドとしても使用できる。このガイドラインは，フォト，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eDUV\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e，X\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e線，及び電子ビームプロセスに使用しようとするものである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本書に示されている情報の公表は，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eレジスト委員会によって1987\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年5\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月に承認された。この委員会は，ガイドラインを完成させ，適切に改定する予定であり，コメントを歓迎している。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e実質的には，全てのリソグラフプロセスは，同じタイプのレジストに対してさえも，場所によって何かしら変わってくる。その結果殆どのユーザに受け入れられるような厳しい評価プログラムを規定することは不可能である。それ故，変えられるが，プロセスの相違を制御できるテストプログラムと方法を規定するのが本ガイドラインの狙いである。それぞれのプロセスに対して適切な基本的制御方法を維持するために，全てのテストは，その機能的特性が既知でありかつ特性化されている或る内部の標準製品を基準として実施されるべきである。それぞれの生産は各自が所望するか又は推奨する条件に基づいて実施されるべきであり，異なる製品は異なる条件のもとで評価することができるということが分かっている。そして，或る性質，変数，又は規定度のような条件は，ポジティブフォトレジストのようなレジストタイプに特定され，適用できる場合のみ使用されるべきであるということも理解されるべきである。更に，このガイドは機能的テストを指向しているので，評価されるべき製品は，そのような機能的テストの前に全ての関連のある化学的及び物理的テストをパスするものとされている。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eNone.\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P9-0298 - Superseded","offer_id":40234376527939,"sku":"13014","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_d77a2011-9331-4ce7-b7f9-6d22972f2ab3.png?v=1776701853","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/p00900-semi-p9-%e3%83%9e%e3%82%a4%e3%82%af%e3%83%ad%e3%82%a8%e3%83%ac%e3%82%af%e3%83%88%e3%83%ad%e3%83%8b%e3%82%af%e3%82%b9%e7%94%a8%e3%83%ac%e3%82%b8%e3%82%b9%e3%83%88%e3%81%ae%e6%a9%9f%e8%83%bd%e7%9a%84%e3%81%aa%e3%83%86%e3%82%b9%e3%83%88%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89%e3%83%a9%e3%82%a4%e3%83%b3","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}