{"product_id":"m07400-semi-m74-直径450mmメカニカルハンドリング鏡面ウェーハの仕様","title":"M07400 - SEMI M74 - 直径450mmメカニカルハンドリング鏡面ウェーハの仕様","description":"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"1\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"1\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eglobal Silicon Wafer Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術的に承認されている。現版は2008\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年8\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月29\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e日，global Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて発行が承認された。2008\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にwww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで，そして2008\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年11\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にCD-ROM\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで入手可能となる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこのドキュメントは，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e450mm\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eウェーハ，キャリア，ロードポート，AMHS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eとロボットなどの450mm\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e半導体装置の研究，開発，初期設計検討に使うことを意図した450mm\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eメカニカルハンドリングウェーハの仕様を定める。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこの仕様は，直径\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e450mm\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e鏡面ウェーハの寸法要求をカバーする。この仕様は，ハンドリングウェーハの短期的なニーズを扱うことを意図する。プロセス開発やある技術を特定したデバイス製造に使える品質を持ったウェーハなどの仕様を決めることを意図してはない。プロセス開発用ウェーハ仕様，プライムウェーハ仕様とデバイス製造に使える品質を持ったウェーハの技術的なガイドラインによってこの規格は取って代わるべきである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e購入仕様全体としては，物理特性をその大きさを求める測定法と共に追加仕様とする必要があろう（§\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e5\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eを参照）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eここにある基本仕様を満たすウェーハは，装置のセットアップやロボットハンドリングに適用する「メカニカルハンドリング」ウェーハとして使うに適している。\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e参考までに，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e（System International\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e，一般にメートル法と呼ばれる）単位が使われる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI M1 — Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers\u003cbr\u003eSEMI M20 — Practice for Establishing a Wafer Coordinate System \u003cbr\u003eSEMI M59 — Terminology for Silicon Technology\u003cbr\u003eSEMI MF533 — Test Method for Thickness and Thickness Variation of Silicon Wafers\u003cbr\u003eSEMI MF928 — Test Method for Edge Contour of Circular Semiconductor Wafers and Rigid Disk Substrates \u003cbr\u003eSEMI MF1152 — Test Method for Dimensions of Notches on Silicon Wafers\u003cbr\u003eSEMI MF1390 — Test Method for Measuring Warp on Silicon Wafers by Automated Non-Contact Scanning\u003cbr\u003eSEMI MF1451 — Test Method for Measuring Sori on Silicon Wafers by Automated Non-Contact Scanning\u003cbr\u003eSEMI MF1530 — Test Method for Measuring Flatness, Thickness, and Total Thickness Variation on Silicon Wafers by Automated Non-Contact Scanning \u003cbr\u003eSEMI T3 — Specification for Wafer Box Labels\u003cbr\u003eSEMI T7 — Specification for Back Surface Marking of Double-Side Polished Wafers with a Two-Dimensional Matrix Code Symbol \u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M74-1108 (Reapproved 0413) - Superseded","offer_id":40234362568771,"sku":"9743","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M74-1108 - 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