{"product_id":"m06600-semi-m66-misフラットバンド電圧-絶縁膜厚法を使った-酸化膜-およびhigh-κゲートスタックの有効仕事関数の算出方法","title":"M06600 - SEMI M66 - MISフラットバンド電圧―絶縁膜厚法を使った，酸化膜，およびhigh-κゲートスタックの有効仕事関数の算出方法","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本スタンダードは，global Silicon Wafer Committee\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで技術的に承認されている。現版は2006\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年5\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月16\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e日，global Audits and Reviews Subcommittee\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eにて発行が承認された。2006\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年6\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にwww.semi.org\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで，そして2006\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年7\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にCD-ROM\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能となる。\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003co:p\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in auto 21.3pt; mso-para-margin-left: 2.13gd\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eE\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e　\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e本文書は\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e2007\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e2\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に編集上の修正がなされた。変更箇所は，¶ \u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA\"\u003eR2-2.3\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eである。\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eCMOS\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e集積回路の継続的な縮小により，ムーアの法則による予測や，\u003cspan style=\"mso-bidi-font-style: italic\"\u003e国際半導体技術ロードマップ（\u003ci\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eInternational Technology Roadmap for Semiconductors\u003c\/span\u003e\u003c\/i\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold; mso-bidi-font-style: italic\"\u003e）の予測を達成するためには，新規材料やリソグラフィ技術の革新が必要な所まできている。\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eゲート絶縁膜膜厚が\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e1nm\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eに近づくに伴い，一般的に使われてきたゲート絶縁膜とゲート電極の材料（\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eSiO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e\u003csub\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e　\u003c\/span\u003e\u003c\/sub\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eとドープされたポリシリコン）の特性では，今後のノードに対応できない。従来の\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eCMOS\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eに使われている\u003ci\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003en\u003c\/span\u003e\u003c\/i\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e+\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eや\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e \u003ci\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003ep\u003c\/span\u003e\u003c\/i\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e+\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e　\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eポリシリコンゲート電極に替わる材料を探すため，代替材料候補の有効仕事関数を実験により算出することが新たに注目を集めている。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e新たなゲート電極材料に要求される特徴の一つは，シリコン酸化膜（\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eSiO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e膜）と\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eSiO\u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eに代替すべく開発が進んでいる\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003ehigh-\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eκ\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e膜の両方のゲート絶縁膜に対して使用できる可能性である。ゲート電極の仕事関数差は，ゲート電極材料とシリコン基板の特性のみによる様に見えるが，さまざまな，金属と絶縁体の相互作用が，有効仕事関数に影響を与える電位シフトを発生させることが報告されている。したがって，これらの影響を十分考慮したテスト片構造と解析が求められる。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eこれらの測定が初めて広く使われる様になって以降，プロセス技術やウェーハ作製法が変化したことは，テスト片構造作製と解析方法の変更が必要なことを示している。本試験方法の目的は，この変更を明確にすることである。それは，測定，フラットバンド電圧―絶縁膜厚法より得たゲート電極有効仕事関数データの測定，解析と報告を含む。\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 9pt; mso-fareast-language: JA; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI M59 — Terminology for Silicon Technology \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI MF1153 — Test Method for Characterization of Metal-Oxide-Silicon (MOS) Structures by Capacitance-Voltage Measurements \u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M66-0706E - Superseded","offer_id":40234301947971,"sku":"4888","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_74fdcff8-69fd-4a87-a284-9e05e9627a74.png?v=1776702590","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/m06600-semi-m66-mis%e3%83%95%e3%83%a9%e3%83%83%e3%83%88%e3%83%90%e3%83%b3%e3%83%89%e9%9b%bb%e5%9c%a7-%e7%b5%b6%e7%b8%81%e8%86%9c%e5%8e%9a%e6%b3%95%e3%82%92%e4%bd%bf%e3%81%a3%e3%81%9f-%e9%85%b8%e5%8c%96%e8%86%9c-%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3high-%ce%ba%e3%82%b2%e3%83%bc%e3%83%88%e3%82%b9%e3%82%bf%e3%83%83%e3%82%af%e3%81%ae%e6%9c%89%e5%8a%b9%e4%bb%95%e4%ba%8b%e9%96%a2%e6%95%b0%e3%81%ae%e7%ae%97%e5%87%ba%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}