{"product_id":"m06500-semi-m65-化合物半導体エピタキシャルウェーハに使用するサファイア基板の仕様","title":"M06500 - SEMI M65 - 化合物半導体エピタキシャルウェーハに使用するサファイア基板の仕様","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本仕様は，global Compound Semiconductor Materials Committee\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e2006\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e1\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e月\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e16\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e日，\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eにて発行が承認された。2006\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年2\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にwww.semi.org\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで，そして2006\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年3\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にCD-ROM\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能となる。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003c!--?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/--\u003e\u003co:p\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eE\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本スタンダードは2006\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年8\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月に編集上の修正がなされた。修正箇所は表R2-2\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eである。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; TEXT-INDENT: 0in\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"mso-list: Ignore\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; TEXT-INDENT: 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eサファイア基板は，窒化ガリウムと関連する薄膜のヘテロエピタキシャル成長に使用される。薄膜の特性は，使用される基板の特性に部分的に依存する。これらの仕様は，デバイスの製造に適した薄膜に成長に使用するために必要な判定基準の仕様を提供し，サファイア基板の表記法を統一するためのものである。\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI M1 — Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers\u003cbr\u003eSEMI M3 — Specifications for Polished Monocrystalline Sapphire Substrates\u003cbr\u003eSEMI MF26 — Test Method for Determining the Orientation of a Semi-conductive Single Crystal\u003cbr\u003eSEMI MF523 — Practice for Unaided Visual Inspections of Polished Silicon Wafer Surfaces\u003cbr\u003eSEMI MF533 — Test Method for Thickness and Thickness Variations of Silicon Wafers\u003cbr\u003eSEMI MF671 — Test Method for Measuring Flat Length on Wafers and Other Electronic Materials\u003cbr\u003eSEMI MF847 — Test Method for Measuring Crystalographic Orientation of Flats on Single Crystal Silicon Wafers by X-ray Techniques\u003cbr\u003eSEMI MF928 — Test Method for Edge Contour of Circular Semiconductor Wafers and Rigid Disk Substrates\u003cbr\u003eSEMI MF1810 — Test Method for Counting Preferentially Etched or Decorated Surface Defects in Silicon Wafer\u003cbr\u003eSEMI MF2074 — Guide for Measuring Diameter of Silicon and Other Semiconductor Wafers\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M65-0306E2 - Superseded","offer_id":40234293264451,"sku":"4886","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_f4dbf1ec-7fa5-45e3-892e-2dc27f6d8654.png?v=1776702592","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/m06500-semi-m65-%e5%8c%96%e5%90%88%e7%89%a9%e5%8d%8a%e5%b0%8e%e4%bd%93%e3%82%a8%e3%83%94%e3%82%bf%e3%82%ad%e3%82%b7%e3%83%a3%e3%83%ab%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e3%81%ab%e4%bd%bf%e7%94%a8%e3%81%99%e3%82%8b%e3%82%b5%e3%83%95%e3%82%a1%e3%82%a4%e3%82%a2%e5%9f%ba%e6%9d%bf%e3%81%ae%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}