{"product_id":"m05700-semi-m57-シリコンアニールウェーハの仕様","title":"M05700 - SEMI M57 - シリコンアニールウェーハの仕様","description":"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eglobal Silicon Wafer Committee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2013\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e3\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e日，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eにて発行が承認された。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2013\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e4\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月に\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ewww.semiviews.org\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eおよび\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e www.semi.org\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2004\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e7\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月，前版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2011\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e10\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e多くのデバイスメーカーが，シリコンアニールウェーハを用いてデバイス特性の向上を図っている。本仕様が提供するのは，半導体デバイスおよび集積回路組立てに使用されるシリコンアニールウェーハを規定するための情報である。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本仕様は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e180 nm\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e130 nm\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e90 nm(\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e表\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e R1-1), 65 nm, 45 nm, 32 nm, (\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e表\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e R1-2), 22 nm (\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e表\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e R1-3)\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e世代のデバイスにおけるシリコンアニールウェーハの幾何学的，電気的，化学的および構造的特性を包括している。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本文書の使用者は，本ガイダンスに基づいて，シリコンアニールウェーハの仕様書を作成することができる。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eアニールウェーハを使用する理由のひとつは，アニールウェーハ表層の\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ecrystal originated particles\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eCOP\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）を減らすことができるということである。バルク欠陥がない領域（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003edenuded zone\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e：\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eDZ\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）の深さもまた重要なパラメータである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI M1 — Specifications for Polished Single Crystal Silicon Wafers\u003cbr\u003e SEMI M35 — Guide for Developing Specifications for Silicon Wafer Surface Features Detected by Automated Inspection\u003cbr\u003e SEMI M45 — Specification for 300 mm Wafer Shipping System\u003cbr\u003e SEMI M53 — Practice for Calibrating Scanning Surface Inspection Systems Using Depositions of Monodisperse Polystyrene Latex Sphere on Unpatterned Semiconductor Wafer Surfaces\u003cbr\u003e SEMI M58 — Test Method for Evaluating DMA-Based Particle Deposition Systems and Processes\u003cbr\u003e SEMI M59 — Terminology for Silicon Technology\u003cbr\u003e SEMI MF81 — Test Method for Measuring Radial Resistivity Variation on Silicon Wafers\u003cbr\u003e SEMI MF391 — Test Methods for Minority-Carrier Diffusion Length in Extrinsic Semiconductors by Measurement of Steady-State Surface Photovoltage\u003cbr\u003e SEMI MF523 — Practice for Unaided Visual Inspection of Polished Silicon Wafer Surfaces\u003cbr\u003e SEMI MF951 — Test Method for Determination if Radial Interstitial Oxygen Variation in Silicon Wafers\u003cbr\u003e SEMI MF1239 — Test Methods for Oxygen Precipitation Characteristics of Silicon Wafers by Measurement of Interstitial Oxygen Reduction\u003cbr\u003e SEMI MF1530 — Test Method for Measuring Flatness, Thickness, and Total Thickness Variation on Silicon Wafers by Automated Noncontact Scanning\u003cbr\u003e SEMI MF1535 — Test Method for Carrier Recombination Lifetime in Silicon Wafers by Noncontact Measurement of Photoconductivity Decay by Microwave Reflectance\u003cbr\u003e SEMI MF1617 — Test Method for Measuring Surface Sodium, Aluminum, Potassium, and Iron on Silicon and Epi Substrates by Secondary Ion Mass Spectroscopy\u003cbr\u003e SEMI MF1726 — Practice for Analysis of Crystallographic Perfection of Silicon Wafers\u003cbr\u003e SEMI MF1727 — Practice for Detection of Oxidation Induced Defects in Polished Silicon Wafers\u003cbr\u003e SEMI MF1809 — Guide for Selection and Use for Etching Solutions to Delineate Structural Defects in Silicon\u003cbr\u003e SEMI T3 — Specification for Wafer Box Labels\u003cbr\u003e SEMI T7 — Specification for Back Surface Marking of Double-Side Polished Wafers with a Two-Dimensional Matrix Code Symbol\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M57-0413 - Superseded","offer_id":40234365911107,"sku":"9666","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M57-1011 - Superseded","offer_id":40234365943875,"sku":"9673","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI M57-0706 - 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