{"product_id":"m05600-semi-m56-計量装置の測定変動と偏りに起因する費用成分の作業法","title":"M05600 - SEMI M56 - 計量装置の測定変動と偏りに起因する費用成分の作業法","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本スタンダードは，global Silicon Wafer Committee\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e2006\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e11\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e月\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e21\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003e日，\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-size: 9.0pt\"\u003eにて発行が承認された。2007\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年2\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にwww.semi.org\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで，そして2007\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年3\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にCD-ROM\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能となる。初版は2003\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年11\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月に発行された。\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: OLE_LINK1\"\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eシリコン製造において，製品の処置は通常計量装置の出力次第である。例えば，製作物の一部は，\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e1\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eつまたはそれ以上の測定された出力特性に基づき出荷されるか，廃棄されるか，作り直されるかする。\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e1\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eつのコストモデルが，ある仮定と条件下で運用する計量装置に関連する費用を見積もる方法を提供している。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e本法は，計量装置供給者と使用者に，仕様書に適合する製品テストをする際，測定変動と偏りに起因する製品の分類誤りに基づく費用を決定するための標準方法論を提供している。\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e本法は，異なった\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eP\/T\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e（精度／許容）比を持つ測定装置購入の事前評価に役立つよう意図されている。また本法は，１つの測定装置において，\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eP\/T\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e比が用いられるスループットモードあるいは他の装置のセットアップ要因によって変化する場合，異なったスループットモードでの操作比較を行うのに役立つよう意図されている。本法は，使用者が特定のプロセス能力と必要条件に基づく最適な費用解決策を選択する助けとなる。\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: auto 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e本法には，伝統的な費用構成要素（例えば装置，保守，操業およびスタッフのコスト）のみならず製品の費用データは含まれない；各使用者は，設備に対し適用可能なビジネスモデルに基づき適正なデータを用いるべきである。\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E35 — Guide to Calculate Cost of Ownership (COO) Metrics for Semiconductor Manufacturing Equipment \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E89 — Guide for Measurement System Analysis (MSA) \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI M1 — Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers S \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eEMI M59 — Terminology for Silicon Technology \u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M56-0307 - Superseded","offer_id":40234367287363,"sku":"9661","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_2ef0bd26-932f-4ae9-b178-1ff6bae802c8.png?v=1776702039","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/m05600-semi-m56-%e8%a8%88%e9%87%8f%e8%a3%85%e7%bd%ae%e3%81%ae%e6%b8%ac%e5%ae%9a%e5%a4%89%e5%8b%95%e3%81%a8%e5%81%8f%e3%82%8a%e3%81%ab%e8%b5%b7%e5%9b%a0%e3%81%99%e3%82%8b%e8%b2%bb%e7%94%a8%e6%88%90%e5%88%86%e3%81%ae%e4%bd%9c%e6%a5%ad%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}