{"product_id":"m03500-semi-m35-自動検査により検出されるシリコンウェーハ表面特性の仕様を開発するためのガイド","title":"M03500 - SEMI M35 - 自動検査により検出されるシリコンウェーハ表面特性の仕様を開発するためのガイド","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"TEXT-JUSTIFY: inter-ideograph; MARGIN: 0in 21pt 0pt; TEXT-ALIGN: justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e本スタンダードは，\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003eglobal Silicon Wafer \u003cspan style=\"mso-spacerun: yes\"\u003e Committee\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2007\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e9\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e5\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e日，\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eにて発行が承認された。\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2007\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e10\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003ewww.semi.org\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eで，そして\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2007\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e11\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003eCD-ROM\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e1999\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月発行，前版は\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e2005\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e11\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に発行された。\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0in 0in 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eシリコンウェーハ表面の検査は，すべての商業的に販売されているシリコンウェーハにおいて標準な出荷試験となっている。\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e \u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e古い仕様は，ウェーハ表面の目視検査を基準としているが，技術の進歩にともなって，多くの表面の検査対象欠陥サイズが目視検査で行うには小さすぎるようになってきている。このため，（目視検査に変わる）別のやり方の表面検査が必要になってきている。\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e \u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eこのガイドは，スキャニング（または自動の）表面検査システム（\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003eSSIS\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e：\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003escanning\u003cspan style=\"mso-spacerun: yes\"\u003e  surface inspection systems\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e）を用いてシリコンウェーハの表面特性測定を記録するための仕様の枠組みを提供する。\u003cspan style=\"FONT-WEIGHT: normal; FONT-SIZE: 10pt; mso-bidi-font-weight: bold\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI M1 — Specifications for Polished Monocrystalline Polished Silicon Wafers \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI M53 — Practice for Calibrating Scanning Surface Inspection Systems using Depositions of Monodisperse Polystyrene Latex Sphere on Unpatterned Semiconductor Wafer Surfaces \u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M35-1107 - Superseded","offer_id":40234286972995,"sku":"4844","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_a2cf7f92-32a3-4256-ac86-fcd1fb5de5f1.png?v=1776702625","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/m03500-semi-m35-%e8%87%aa%e5%8b%95%e6%a4%9c%e6%9f%bb%e3%81%ab%e3%82%88%e3%82%8a%e6%a4%9c%e5%87%ba%e3%81%95%e3%82%8c%e3%82%8b%e3%82%b7%e3%83%aa%e3%82%b3%e3%83%b3%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e8%a1%a8%e9%9d%a2%e7%89%b9%e6%80%a7%e3%81%ae%e4%bb%95%e6%a7%98%e3%82%92%e9%96%8b%e7%99%ba%e3%81%99%e3%82%8b%e3%81%9f%e3%82%81%e3%81%ae%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}