{"product_id":"m03100-semi-m31-300-mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング-シッピングボックスの機械仕様","title":"M03100 - SEMI M31 - 300 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e免責事項：\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e このSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSilicon Wafer Global Technical Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術的に承認されている。現版は2008\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年5\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月3\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e日，global Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて発行が承認された。2008\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年6\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にwww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで。初版は1998\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年発行，前版は2007\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年3\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月に発行された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードは，ウェーハの品質を維持しながら，ウェーハサプライヤから顧客（主に\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eIC\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e製造者）へ300 mm\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e径ウェーハを搬送するのに使用されるフロントオープニングシッピングボックス (front-opening shipping Box: FOSB) \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eを規定する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにおいて，モジュール性と互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定めることである。しかしながら，射出成型プラスチック製の\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eFOSB\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eが本スタンダードに準拠して製造できるように，そしてそのFOSB\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eがウェーハ輸送，ドアの開閉時においてウェーハ品質を維持するために使用可能なように，本スタンダードは作成されている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードが想定しているのは，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eFOSB\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eがウェーハ製造の最終段階でウェーハが詰められ，受け入れと検査を経て，IC\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e工場内でFOSB\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eからFOUP\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e，FOBIT\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eあるいはオープンカセットに詰めかえられるまでの工程に使われることであり，IC\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e工場内のプロセス工程で使うことは想定していない。ウェーハは自動化された装置によってFOSB\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eからFOUP\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e，FOBIT\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eあるいはオープンカセットに詰め替えられることが望ましい。¶ 5.4\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eに記載のように，購入者側はFOSB\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eのドアを以下のいずれであるかを規定する必要がある。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003col\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e¶ 5.4.1\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e記載の手動操作用ドア\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e¶ 5.4.2\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e記載の自動開閉用ドア\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ol\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers\u003cbr\u003eSEMI E15 — Specification for Tool Load Port\u003cbr\u003eSEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port\u003cbr\u003eSEMI E47.1 — Provisional Mechanical Specification for Boxes and Pods Used to Transport and Store 300 mm Wafers \u003cbr\u003eSEMI E57 — Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers\u003cbr\u003eSEMI E62 — Provisional Specification for 300 mm Front-Opening Interface Mechanical Standard (FIMS)\u003cbr\u003eSEMI E119 — Provisional Mechanical Specification for Reduced-Pitch Front-Opening Box for Interfactory Transport of 300mm Wafers\u003cbr\u003eSEMI M45 — Provisional Standard for 300mm Wafer Shipping System\u003cbr\u003eSEMI S8 — Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment \u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M31-0708 - Superseded","offer_id":40234358931523,"sku":"9554","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_98f2e3d9-f295-4ac0-852f-948a50bf2b00.png?v=1776702055","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/m03100-semi-m31-300-mm%e3%82%a6%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%83%8f%e3%81%ae%e6%90%ac%e9%80%81%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e5%87%ba%e8%8d%b7%e7%94%a8%e3%83%95%e3%83%ad%e3%83%b3%e3%83%88%e3%82%aa%e3%83%bc%e3%83%97%e3%83%8b%e3%83%b3%e3%82%b0-%e3%82%b7%e3%83%83%e3%83%94%e3%83%b3%e3%82%b0%e3%83%9c%e3%83%83%e3%82%af%e3%82%b9%e3%81%ae%e6%a9%9f%e6%a2%b0%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 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