{"product_id":"m02100-semi-m21-カーテシアンデカルトアレイにおける方形エレメントへの割当アドレスのガイド","title":"M02100 - SEMI M21 - カーテシアン（デカルト）アレイにおける方形エレメントへの割当アドレスのガイド","description":"\u003cp class=\"SubtitleIndent\" style=\"MARGIN: 0in 0.5in 6pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e本\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eガイド\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eは，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial\"\u003eglobal Silicon Wafer Committee\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003eで技術的に承認\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eされている。現版は，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e2010\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e8\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e月\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e27\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e日\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eglobal Audits \u0026amp; Reviews Subcommittee\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eにて発行が承認された。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e2010\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e10\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003ewww.semi.org\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e1992\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e年発行，前版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e2004\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e3\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: Arial; mso-hansi-font-family: Arial; mso-bidi-font-family: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e月発行。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: Arial; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0in; 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mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eそのようなアレイは，パターンの描かれていない半導体ウェーハ上の，サイトフラットネス特性，欠陥マッピング，変数分布の決定，その他のサイトの位置づけをするのに有用である。\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: Arial; mso-bidi-font-size: 10.0pt\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI M1 — Specifications for Polished Single Crystal Silicon Wafers \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI M17 — Guide for a Universal Wafer Grid \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI M20 — Practice for Establishing a Wafer Coordinate System \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI M59 — Terminology of Silicon Technology \u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M21-1110 - Superseded","offer_id":40234360930371,"sku":"9527","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_df7a5a72-110d-404e-b37b-6f76448fb13d.png?v=1776702064","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/m02100-semi-m21-%e3%82%ab%e3%83%bc%e3%83%86%e3%82%b7%e3%82%a2%e3%83%b3%e3%83%87%e3%82%ab%e3%83%ab%e3%83%88%e3%82%a2%e3%83%ac%e3%82%a4%e3%81%ab%e3%81%8a%e3%81%91%e3%82%8b%e6%96%b9%e5%bd%a2%e3%82%a8%e3%83%ac%e3%83%a1%e3%83%b3%e3%83%88%e3%81%b8%e3%81%ae%e5%89%b2%e5%bd%93%e3%82%a2%e3%83%89%e3%83%ac%e3%82%b9%e3%81%ae%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}