{"product_id":"m02000-semi-m20-ウェーハ座標システムの確立の作業方法","title":"M02000 - SEMI M20 - ウェーハ座標システムの確立の作業方法","description":"\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If\ndifferences should exist between the English version and a translation in any\nother language, the English version is the official and authoritative version.\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e免責事項：　この\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;\nmso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\nArial'\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e先端デバイス製造に現在用いられているプロセスシステムはプロセスの前にウェーハを回転させ，\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003ex-y\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e位置付けをするためのアライメント機構を使用している。これらの多くは，ウェーハ周辺部を走査し，ウェーハ表面の幾何学的中心を決めている。これは多種のアライナーを混用するファブにおいてウェーハ間直径バラツキの影響を最小化するために，ステッピングアラアイナーに最も多く見られることである。同様の中心基準のサブシステムが多くの特性評価システムに見られる。ウェーハの座標システムは，サイト，パターン，またはマッピング配置の様な他の座標システムがウェーハ表面の物理的位置を参照する方法を提供する。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eもしアレイの点がウェーハのフロント表面上にある場合には，唯一\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003ex\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eおよび\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003ey\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e（または\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003er\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eおよび\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:Symbol;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:\nSymbol\"\u003e\u003cspan style=\"mso-char-type:symbol;mso-symbol-font-family:Symbol\"\u003eq\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e）座標が適切である。半導体材料およびデバイス製造において，自動プロセシング，テスト，または評価設備がウェーハ上の位置の認識ないし位置決めをするためのウェーハ上の位置を，曖昧さを排除して記述することがますます重要になってきている。例えば，評価装置は，プロセッシングの前あるいは後で発見される欠陥や異常部の有無とデバイス歩留まりバラツキとの関連付けのため，ウェーハ上に認められる欠陥や異常部の正確な位置を報告する必要がある。ウェーハ座標システムは，注目する各点の座標位置を確立するために，そして歩留まり解析座標システムへの変換により，ダイ歩留まりマップに対応させるのに用いることが出来る。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこれらの要望に応えるため，本方法はウェーハ表面上の点を正確に位置決めし，報告することを促進させるためのウェーハ座標システムを定義している。各点がウェーハ表面上または下面に存在する場合には，\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003ez\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e座標もまた使用されなければならない。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003ez\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e軸上のゼロ点はアプリケーションに特有なので，本方法は\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003ex-y-z\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e（または\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003er-\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:Symbol;mso-ascii-font-family:\nArial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-char-type:\nsymbol;mso-symbol-font-family:Symbol\"\u003e\u003cspan style=\"mso-char-type:symbol;\nmso-symbol-font-family:Symbol\"\u003eq\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e-z\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e）系は表面座標システムから切り離して取り扱う。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e本方法は，ウェーハ上の何れの点をも，ウェーハ中心を原点とし，デカルト座標（\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003ex-y\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e）または極（\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003er-\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:Symbol;mso-ascii-font-family:\nArial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-char-type:\nsymbol;mso-symbol-font-family:Symbol\"\u003e\u003cspan style=\"mso-char-type:symbol;\nmso-symbol-font-family:Symbol\"\u003eq\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:\n10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:\nArial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;\nmso-bidi-font-family:Arial'\u003e）座標を用い，唯一の点に位置付けるウェーハ座標システムを定義する手順を提供している。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eパターンが描かれていないウェーハに対しては，このウェーハ座標システムは直接に，または直角座標や極座標形式のオーバーレイアウトとともに使用することができる。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこのウェーハ座標システムは，さらに，原点を位置付けたり，他の座標システムの基準点を位置付けたりするのに使用することができる。他の座標システムは，パターンが描かれたウェーハまたは描かれていないウェーハの前面または裏面上にサイト，ダイ，またはマップアレイの位置データを定義したり報告したりするのに用いられる。このような方法で，アレイ座標システムは，ウェーハの物理的外形の基準となることができる。ウェーハ座標システムのアプリケーションの選ばれたモードが関連情報\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e1 \u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eに情報としてのみ記載されている。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e本方法は，またウェーハに対し三次元\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e x-y-z\n\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e（または\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e r-\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:Symbol;mso-ascii-font-family:\nArial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-char-type:\nsymbol;mso-symbol-font-family:Symbol\"\u003e\u003cspan style=\"mso-char-type:symbol;\nmso-symbol-font-family:Symbol\"\u003eq\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e-z\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e）座標システムを定義する手順を提供している。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e (purchase separately)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E5 — Specification for SEMI Equipment Communications\nStandard 2 Message Content (SECS-II)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M1 — Specification for Polished Single Crystal Silicon\nWafers\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M12 — Specification for Serial Alphanumeric Marking of\nthe Front Surface of Wafers\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M13 — Specification for Alphanumeric Marking of\nSilicon Wafers\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M17 — Guide for a Universal Wafer Grid\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI M59 — Terminology for Silicon 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