{"product_id":"m01900-semi-m19-バルク-ガリウムヒ素単結晶基板の電気的性質仕様","title":"M01900 - SEMI M19 - バルク・ガリウムヒ素単結晶基板の電気的性質（仕様）","description":"\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PGothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PGothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e免責事項：　この\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PGothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PGothic\"\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e仕様として，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e3\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eつの主なタイプに分けられる。すなわち，半絶縁性，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003en\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e型及び\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ep\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e型である。これはガリウムヒ素（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eGaAs\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e）の導電率の全範囲を含んでいる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e第\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e3\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e項では，必要とする導電率タイプを製造するためのドーパントの種類を規定し，更に細分化した検討を行っている。半絶縁性材料に対しては，特殊なケースとして分けて考えられてきた。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eアンドープグレード\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eA1\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eとは，付加的なアニールやプロセスを必要とせずに成長後に高抵抗で安定した材料を表す。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e高純度\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eなグレード\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eA2\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e材料とは，抵抗率を\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e107 \u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eΩ-cm\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e以上のレベルにするために，成長後の追加の熱処理を必要とする。このとき，大部分のグレード\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eA2\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eインゴットは，適切な温度サイクルの後に抵抗率特性が許容し得る範囲にまで高められるということを，大抵のサプライヤは示してきた。しかしながら，この現象は時間－温度サイクルの詳細事項に対して敏感であるので，そのような抵抗率の増大は全ての応用例について保証することはできない。それ故，ラベル\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eグレード\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eA2\"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eがこの材料を表すのに使用される。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eクロミウムをドープすると高抵抗の材料が得られる。しかし，プロセス中にクロムが素早く拡散することや表面に蓄積する傾向があるため，グレード\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e3.A.1\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eや\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e3.A.2\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e程にはプロセスによく適合しない。したがって，この材料を\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eグレード\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eA\"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eとする。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e等電価ドーパントの添加は抵抗率に著しく影響を及ぼさないように思われ，むしろ，最終製品の転位の発生を低下させる。それ故，この材料はグレード\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eA\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eに分類される。一方\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eIn\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eは最も効果的な硬化材料であり，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eA\u003cfont face=\"MT Extra\"\u003el \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eP\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e及び\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSb\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eも又効果的なドーパント種である。それらを全て掲載し，後にドキュメントを改訂する必要性が起こらないようにした。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eグレード\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eB\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e仕様は，不純物及びポイント欠陥密度が適切なバランスを完全には保っていないが，抵抗率があまり厳しく指定されない用途に適する材料を包含している。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e導電性材料に対しては，特性が最も良く判っている非遷移金属\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003en\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e型ドーパントとして用いられてきた。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ep\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e型ドーパントとしては，幅広い範囲のドーパント種が用いられてきた。そして，遷移金属は有用なアクセプター不純物である。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e第\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e4\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e項では，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e3\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e項で規定されたような半絶縁性材料の抵抗率及び安定性を定義している。アニーリングによって低抵抗材料に変換してしまう可能性を最小にするために，グレード\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eA2\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e材料にはきびしい制限が設けられた。クロムがドープされた材料における表面変性の問題は，アニーリング後の\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003en\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e型特性に対して言及しないことにより処理された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eNone.\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M19-91 - Inactive","offer_id":40234362372163,"sku":"9520","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MVolume_44520772-8467-4d18-878e-f3b8533c38d0.png?v=1776702065","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/m01900-semi-m19-%e3%83%90%e3%83%ab%e3%82%af-%e3%82%ac%e3%83%aa%e3%82%a6%e3%83%a0%e3%83%92%e7%b4%a0%e5%8d%98%e7%b5%90%e6%99%b6%e5%9f%ba%e6%9d%bf%e3%81%ae%e9%9b%bb%e6%b0%97%e7%9a%84%e6%80%a7%e8%b3%aa%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}