{"product_id":"m01400-semi-m14-半絶縁ガリウムヒ素単結晶のためのイオン注入及び活性化プロセス仕様","title":"M01400 - SEMI M14 - 半絶縁ガリウムヒ素単結晶のためのイオン注入及び活性化プロセス（仕様）","description":"\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e免責事項：　この\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本書の目的は，半絶縁\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eGaAs\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eの異なるロット間において有意義な比較ができるように，イオン注入，活性化及び生成レイヤーの測定のためのプロセスを与えることである。このテストは成果が標準的方法によって表されるように，サプライヤによって実施されることになろう。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e候補ロットは，標準\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eASTM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e評価技術を使用して，抵抗率，移動度及び温度安定性に対する\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI GaAs\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e仕様を満足しなければならない。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e表面の準備：残留酸化物を取り除くように表面処理を計画しなければならない。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注入角度を持ったエネルギーの種類及び注入量：\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e2×1012\/cm2\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eの注入量を持つ\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSi\u003csub\u003e29\u003c\/sub\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eを使用した\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e150KeV\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eのエネルギー。＜\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e100\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e＞から＜\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e110\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e＞の方向へ\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e11\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e～\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e13°\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eの傾き。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e表面の準備：活性化の前には化学的処理を実施してはならない。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e活性化：サンプルは，注入表面に直接接触している\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e2\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e次近接ウェーハとともに\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e850°C\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003eの温度に\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e10\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e分間さらされなければならない。近接ウェーハはイオン注入を受けていないこと以外は，当該ウェーハと同一でなければならない。炉の雰囲気は窒素又はアルゴンのようなガスでなければならない。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e活性化されたサンプルの評価は，標準\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eASTM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e技術に従って規定されている\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eCV\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,MS Gothic\"\u003e輪郭，移動度及び抵抗率に基づかなければならない。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eNone.\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI M14-89 - 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