{"product_id":"f10400-semi-f104-超純水および液体化学薬品分配システムに使用されるコンポーネント評価のためのパーティクル試験方法ガイドライン","title":"F10400 - SEMI F104 - 超純水および液体化学薬品分配システムに使用されるコンポーネント評価のためのパーティクル試験方法ガイドライン","description":"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If\ndifferences should exist between the English version and a translation in any\nother language, the English version is the official and authoritative version.\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e免責事項：　この\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;\nmso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\nArial'\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e本書では，超純水（\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eUPW\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e）流中のパーティクルに寄与するコンポーネントを評価し比較するための推奨試験方法を示す。本方法は，\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\nF57\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\nmso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eのパーティクル試験要求を満たす。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eパーティクル寄与度を評価する\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e2\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eつの方法を提示する。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eすすぎ試験法では，コンポーネントの静的状態におけるフラッシングモード時の性能を評価する。これは，パーティクルレベルがユーザ定義の仕様にまで到達するのに必要な分量を示す。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eサイクル試験法では，コンポーネントの繰り返しの性能を評価し，定常状態での繰り返しよるパーティクルの寄与度を示す。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこれらの試験方法は，半導体製造装置よび補助装置に使用するための薬液と\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eUPW\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eシステムコンポーネントに適用される。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e本書では，\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eUPW\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eを試験媒体として使用しコンポーネントのパーティクル寄与度を測定する方法を説明する。本書において，\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eUPW\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eの定義は本書の\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e¶ 7.4\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eで概述された最小要件を満たしているものとする。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこれらの方法は，現場用液体光学式パーティクル測定装置（\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eOPM\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e）を使用して性能を定量化する。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:\n10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e (purchase separately)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E49 — Guide for High Purity and Ultrahigh Purity\nPiping Performance, Subassemblies, and Final Assemblies\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI F57 — Specification for Polymer Components Used in\nUltrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F104-0312 - 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