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SEMI F29 - ガスソースシステムパネルのパージ効果のテスト方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本スタンダードは，global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年6月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2003年9月発行。前版は，2003年11月発行。
本文書が定義しているのは，半導体製造に使用されるガスソースシステムのパージ効果の最低許容レベルを決定するため推奨されるパージ効果テスト方法である。それはさらにガスソース機器の調達の助となることを意図している。
Referenced SEMI Standards
None.
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