{"product_id":"f02800-semi-f28-プロセスパネルからのパーティクル発生を測定するテスト方法","title":"F02800 - SEMI F28 - プロセスパネルからのパーティクル発生を測定するテスト方法","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0pt 21pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e本スタンダードは，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003eglobal \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003eGases\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e Committee\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003e2010\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003e4\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003e30\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e日，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eにて発行が承認された。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003e2010\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003e6\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; mso-fareast-language: JA\"\u003ewww.semi.org\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eで入手可能となる。\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e初版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e1997\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年発行。前版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e2003\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e11\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月発行。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e本文書の目的は，高純度ガス配分システム中に設置されるプロセスパネルのテスト方法を定義することである。このテスト方法を応用すれば，この設置に必要な適格性に関してテストされたプロセスパネル相互間で比較可能なデータを得ることができると予想される。\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本文書は，プロセスパネルのパーティクル発生性能を比較するテスト方法を説明する。このテスト方法は，プロセスパネルの清浄度を「受け取られたまま」の状態および正常稼働状態で評価する。「受け取られたまま」の状態でのテストが意図するのは，ユーザがプロセスプロセスパネルメーカーの製作，清浄化，および包装の技術を評価できるようにすることである。実際の稼働状態でのテストが意図するのは，ユーザがメーカーの部品選択およびパネル設計の品質を評価できるようにすることである。両方のテスト方法に記述された規定流量は，典型的なプロセスパネルのための比較的大きな流量の条件を表現している。\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eNone.\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F28-1103 (Reapproved 0710) - Superseded","offer_id":40234246832195,"sku":"4031","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/FVolume_7e6f8adb-07fe-44e3-9be7-4a063c581e0e.png?v=1776702764","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/f02800-semi-f28-%e3%83%97%e3%83%ad%e3%82%bb%e3%82%b9%e3%83%91%e3%83%8d%e3%83%ab%e3%81%8b%e3%82%89%e3%81%ae%e3%83%91%e3%83%bc%e3%83%86%e3%82%a3%e3%82%af%e3%83%ab%e7%99%ba%e7%94%9f%e3%82%92%e6%b8%ac%e5%ae%9a%e3%81%99%e3%82%8b%e3%83%86%e3%82%b9%e3%83%88%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}