{"product_id":"f00500-semi-f5-ガス状廃棄物処理のガイドライン","title":"F00500 - SEMI F5 - ガス状廃棄物処理のガイドライン","description":"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e免責事項：　この\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本ガイドは，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eGlobal Environmental Health and Safety Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術的に承認されたもので，North American Environmental Health \u0026amp; Safety Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eが直接責任を負うものである。現版は，2001\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年8\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月27\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e日にNorth American Regional Standards Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて承認されている。2001\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年9\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にまずwww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで入手可能，2001\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年11\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行に至る。初版は1990\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意：本文書は，投票に付された通り，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI F5-90\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003eの全体と置き換えることを目的としている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意：\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\"\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e注\"\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003e\u003cfont lang=\"ZH-TW\"\u003eと記した段落は，このガイドの正式部分ではなく，公式ガイドを修正または置き換えることを意図していない。これらは，タスクフォースが本ガイドの使用を一層充実させるために提供したものである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイドラインの目的は，排気システムの原理を理解するための一般的知識及び背景となる情報を半導体業界に提供することである。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこれには，放出を低減するための適切な方法及び装置だけでなく配置及び選択に対する推奨案も含んでいる。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのガイドは，半導体製造設備から放出される可能性のあるガス状及び粒子状汚染物質双方に対する削減方法の選択を行う際に使用されることを意図している。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003col\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Gothic,‚l‚r ƒSƒVƒbƒN\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Gothic,‚l‚r ƒSƒVƒbƒN\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/ol\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003col\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ol\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e適用　－　このガイドラインでは，下記事項を含む入手可能な情報の検討及び評価を行う。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e半導体製造作業中に放出が考えられる化学化合物及び元素の化学的及び物理的性質\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e異なるグループの物質に対する分離排出システムに対する現在の産業界が実施しているやり方\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e半導体製造作業から排出されるガス状及び粒子状汚染物質の放出を\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e配管終端\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eにおいて削減するため考えられる方法\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e半導体製造工程から排出されるガス状及び粒子状汚染物質の放出を\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e使用点\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eで削減するため考えられる方法，及びそれらをある工程に使用すべき理由\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e汚染物質の放出を最小化するため，回収，置換え及び\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e使用量削減\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eの産業界の標準方法\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI S5 — Safety Guideline for Flow Limiting Devices \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI S8 — Safety Guidelines Equipment for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufactoring Equipment \u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI F5-1101 - 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