{"product_id":"e15400-semi-e154-450-mmロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様","title":"E15400 - SEMI E154 - 450 mmロードポートのためのメカニカルインタフェースの仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"arial\"\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e免責事項：\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e このSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"display: inline !important;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本仕様の目的は，450 mm\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e用 FOUP\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eおよび450 mm\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e用 MAC\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eのロードおよびアンロードを行う半導体製造装置 (SME) \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにおけるロードポートの基本的な寸法のインタフェースを定義することである。 \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本書の意図は，革新的なソリューションを限定することなくロードポートとキャリアの相互運用性を確保するための一連の要求および機能を定義するものである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本書のインタフェース仕様は，関連する450 mm FOUP\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eおよび450 mm MAC\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eのSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eスタンダードに準拠するキャリアによって決定され，また，キャリアに適合するように作成されている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"arial\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eロードおよびアンロードは，何らかのシステムまたは装置（人が運転する搬送車または高架ホイスト車など）を使って半自動および自動モードで行われることを想定している。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cb style=\"\"\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eSEMI E63 — Specification for 300 mm Box Opener\/Loader to Tool Standard (BOLTS-M) Interface\u003cbr\u003e SEMI E110 — Guideline for Indicator Placement Zone and Switch Placement Volume of Load Port Operation Interface for 300 mm Load Ports\u003cbr\u003e SEMI E158 — Mechanical Specification for Fab Wafer Carrier Used to Transport and Store 450 mm Wafers (450 FOUP) and Kinematic Coupling\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E154-0814E - Superseded","offer_id":40234343366723,"sku":"10036","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E154-0814 - Superseded","offer_id":40234343399491,"sku":"8130","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E154-0713 - Superseded","offer_id":40234343432259,"sku":"8131","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E154-0612 - Superseded","offer_id":40234343497795,"sku":"8132","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E154-1110 - Superseded","offer_id":40234343530563,"sku":"8133","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E154-0310 - 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