{"product_id":"e14700-semi-e147-装置データ取得edaのためのガイド","title":"E14700 - SEMI E147 - 装置データ取得（EDA）のためのガイド","description":"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eglobal Information \u0026amp; Control Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術的に承認されている。現版は2006\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年11\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月21\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e日，global Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて発行が承認された。2007\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年2\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にwww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで，そして2007\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年3\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にCD-ROM\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで入手可能となる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eE\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e　本文書は2007\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年9\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月に，誤字を訂正するため，編集上の修正がなされた。変更箇所は，§6\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本ガイド文書は，一連の装置データ取得（\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eEDA\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）SEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eスタンダードに関して追加の情報を提供し，これら規格間の関係を説明し，EDA\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e仕様の適切な適用を確実にするために実装の基本コンセプトを提示する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003ci\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e範囲内\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本ガイドは，装置エンジニアリングデータを収集するための\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eEDA\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eインターフェイスに関するSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eの規定を実装する半導体製造装置に適用することができる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本ガイドは以下について記述する。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eEDA\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eインターフェイスの概要\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eEDA\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eインターフェイスを形成するスタンダードの概要\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eEDA\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eインターフェイススタンダード間の関係\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eEDA\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eスタンダードの統合，実装についてのガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003ci\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e範囲外\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本ガイドスタンダードは装置外のシステム間のインターフェイスについて何も記述，定義しない。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfonthelv\u003e\u003cfonthelv\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003eSEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II) \u003cbr\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E40 — Standard for Processing Management\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E90 — Specification for Substrate Tracking\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E94 — Specification for Control Job Management\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E116 — Specification for Equipment Performance Tracking (EPT)\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E120 — Specification for the Common Equipment Model (CEM)\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E125 — Specification for Equipment Self Description (EqSD)\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E132 — Specification for Equipment Client Authentication and Authorization\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E134 — Specification for Data Collection Management (DCM)\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E138 — XML Semiconductor Common Components\u003cbr\u003e \u003cfont\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E147-0307E - 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