{"product_id":"e14300-semi-e143-50ωの負荷に対する出力変動の測定およびすべての位相角において電圧定在波比が2-0の負荷に対する出力変動とスペクトルを測定するための試験方法","title":"E14300 - SEMI E143 - 50Ωの負荷に対する出力変動の測定およびすべての位相角において電圧定在波比が2.0の負荷に対する出力変動とスペクトルを測定するための試験方法","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e免責事項：\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e　このSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eMetrics Global Technical Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術的に承認されている。現版は2011\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年12\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月24\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e日，global Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて発行が承認された。2012\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年5\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にwww.semiviews.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eおよび www.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで入手可能となる。初版は2006\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年3\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e: \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本試験方法の目的は，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI E113\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eをサポートし，高周波 (RF) \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e電力供給装置における実際の動作をシミュレーションするために，整合および不整合負荷の両者に対して駆動されている半導体処理装置用RF\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e発生器の出力電力とスペクトル詳細を測定する正確な手段を提供することである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本試験方法は，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eRF\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e発生器の出力電力およびスペクトル変動を正確に決定するために必要な試験手順および試験機器を明記する。本試験方法ではスペクトル・アナライザ，電力計，信号サンプリング装置を使用し，これらすべてはメーカーが推奨する適切な手法によって事前に較正されているものとする。また，本試験方法はRF\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e発生器の主な性能特性3\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e種の正当性の立証に使用して以下のSEMI E113\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e仕様をサポートするためのものである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本試験方法は，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eRF\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e発生器を整合負荷 (50 Ω)\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで動作させた場合に，要求電力レベルの ±1% \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e未満の偏差で一貫した電力 (\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e長期間，および定常ウェーハ処理条件において) \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eを提供することを確認するために使用する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本試験方法は，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eRF\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e発生器を最大定格出力電力の10%\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eから100%\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eというあらゆる位相角において反射係数が0.33\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e以上 (VSWR\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eが2.0\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e以上) \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eである負荷インピーダンスで動作させた場合に，要求電力レベルの±1.5%\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e未満の偏差で一貫した電力(\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e長期間，および定常ウェーハ処理条件において)\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eを提供することを確認するために使用される。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本試験方法は，最大定格出力電力の\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e10%\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eから100%\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eというあらゆる位相角において反射係数が0.33\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e以上 (VSWR\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eが2.0\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e以上) \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eである負荷インピーダンスで動作させた場合に，単一または固定周波数出力を提供するRF\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e発生器が −40 dB \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e以下の出力電力高調波またはスプリアス・スペクトル詳細を提供することを確認するために使用する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本試験方法は，以下の\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e2\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eつの条件が満たされ理解されている場合には，可変または複数周波数出力のRF\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e発生器に対する出力電力高調波やスプリアス・スペクトルの確認にも使用可能である。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e可変周波数\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eRF\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e発生器は，本試験で妥当な結果を得るために単一の固定周波数モードにしなければならない。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e可変周波数\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eRF\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e発生器の出力電力高調波またはスプリアス・スペクトルは，通常固定周波数RF\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e発生器に対する −40 dB \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eの要件よりも高くなる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本試験手法の主な焦点は半導体処理装置であり以下の装置種を含むが，これに限定されるものではない。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e• \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eドライエッチ装置\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e• \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e膜蒸着装置 (CVD\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eと\u003cfont size=\"2\"\u003ePVD)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E113 — Specification for Semiconductor Processing Equipment RF Power Delivery Systems\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E114 — Test Method for RF Cable Assemblies Used in Semiconductor Processing Equipment RF Power Delivery Systems\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E143-0306 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