{"product_id":"e13500-semi-e135-半導体処理装置の高周波rf電力供給システムの過渡応答を決定するためのrf発振器のテスト方法","title":"E13500 - SEMI E135 - 半導体処理装置の高周波（RF）電力供給システムの過渡応答を決定するためのRF発振器のテスト方法","description":"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eglobal Metrics Technical Committee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2011\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e12\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e24\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e日，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eにて発行が承認された。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2012\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e5\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月に\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ewww.semiviews.org\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eおよび\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e www.semi.org\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2004\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e7\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e: \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本文書の目的は，半導体処理装置の高周波（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eRF\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）電力供給システムに使われる\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eRF\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e発振器の過渡応答を決定するテスト方法を定義し，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI E113\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eをサポートすることである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本文書では，公称\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e50 Ω\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eの負荷で動作する\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eRF\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e発振器の過渡応答を，電力を要求した時点から（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eRF\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eイネーブル信号等）\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eRF\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e出力信号が起動あるいは停止するまでの遅延時間も含め，設定値レベルの変化の関数として決定するために必要なテスト手順およびテスト装置を指定する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本文書の主な対象は，次のタイプの装置を含み，かつそれらに限定されない半導体処理装置である。\u003c\/p\u003e \u003cul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003eドライエッチング装置\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e膜堆積装置（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eCVD\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eと\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ePVD\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E113 — Specification for Semiconductor Processing Equipment RF Power Delivery Systems\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E135-0704 (Reapproved 0512) - 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