{"product_id":"e12700-semi-e127-装置組込み計測モジュール通信の仕様-概念-挙動-サービスimmc","title":"E12700 - SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念，挙動，サービス（IMMC）","description":"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eglobal Information \u0026amp; Control Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術的に承認されている。現版は2007\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年12\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月20\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e日，global Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて発行が承認された。2008\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年2\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にwww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで，そして2008\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年3\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にCD-ROM\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで入手可能となる。初版は2003\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年7\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行，前版は2007\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年11\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月に発行された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ci\u003e \u003c\/i\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e装置組込み計測\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e装置組込み計測（測定や検査）の目的は，即座に測定データを取得し，プロセス装置と計測装置間の材料の搬送を減らし，スループットの低下を最小限，または皆無にすることによりプロセスモニタリングの機会を増やすことになる装置内部のプロセスモニタリングの便宜を図ることである。また，装置組込み計測では，先進プロセス制御システムはこの測定結果の利用により，短いフィードバック時間の遅れを実現する。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ci\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e装置組込み計測モジュール通信（\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eIMMC\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）の仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eIMMC\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e規定の目的は，装置組込み計測モジュールのオブジェクトベースの仕様を示すことである。それと共に，別々のサプライヤによって実装される装置組込み計測モジュールと制御ポート／データポートとの間の標準的なインタフェースもオブジェクトベースで示すことである。このインタフェースにより特定のオブジェクトのプロパティとサービスにアクセスできるようになる。これにより，モジュールをより大きなシステムに組み込む際の労力が低減できる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードのもうひとつの目的は，マルチモジュール装置に組み込んだとしても計測モジュールや装置のソフトウェアの変更をしなくても良いような，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eIMMC\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e準拠の装置組込み計測モジュールのオンラインサービスとインタフェースを一緒にした文書を通じて，必要な分の情報を示すことである。これには計測モジュールのサプライヤに任されているある種の選択事項に関する構成変更を，エンドユーザがユーザインタフェース上で行うことが必要となる可能性がある。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ci\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本文書の範囲\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e装置組込み計測モジュール通信の仕様は，大口径基板の処理を前提とした生産装置に組込み可能な様に，測定あるいは検査モジュールが提供する概念，挙動，サービスをカバーする。ただし，小口径基板の製造への適用を制限するものではない。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSubordinate Document: \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI E127.1-0308 - 装置組み込み計測モジュール通信のSECS-II\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eプロトコル仕様（IMMC\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e ）\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfonthelv\u003e\u003cfonthelv\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003eSEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II) \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM) \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E30.5 — Specification for Metrology Specific Equipment Model (MSEM) \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E32 — Material Movement Management (MMM) \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services \u003cbr\u003e \u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E39.1 \u003cfont\u003e— SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS)\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E40 — Standard for Processing Management \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E41 — Exception Management (EM) Standard\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E42 — Recipe Management Standard: Concepts, Behavior, and Message Services\u003cbr\u003e \u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E53 —\u003cfont\u003e Event Reporting\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E58 — Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E90 — Specification for Substrate Tracking \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E90.1 — Provisional Specification for SECS-II Protocol Substrate Tracking\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E98 — Provisional Standard for the Object-Based Equipment Model (OBEM)\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E116 — Provisional Specification for Equipment Performance Tracking \u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E120 — Provisional Specification for the Common Equipment Model (CEM)\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI E148 — Specification for Time Synchronization and Definition of the Clock Object\u003cbr\u003e \u003cfont\u003eSEMI M20 — Specification for Establishing a Wafer Coordinate System\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/fonthelv\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E127-0308 - 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