{"product_id":"e11600-semi-e116-装置性能トラッキングeptのための仕様","title":"E11600 - SEMI E116 - 装置性能トラッキング（EPT）のための仕様","description":"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003eNOTICE: \u003c\/b\u003eThis translation is a REFERENCE COPY ONLY. If\ndifferences should exist between the English version and a translation in any\nother language, the English version is the official and authoritative version.\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e免責事項：　この\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;\nmso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\nArial'\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eE \u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:\n107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e本文書は\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e2007\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e年\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e9\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e月に，誤字を訂正するため，編集上の修正がなされた。変更箇所は，表\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eR1-13\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eである。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこの資料は，生産装置の基本的な性能のトラッキングを実行するための仕様について記述する。この資料の規定により，ホストコンピュータは，オペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法で装置の基本的な性能をトラッキングできる。この資料は，装置サプライヤが次の事項を実行するための仕様について記述する。\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: Arial, sans-serif; font-size: 10pt;\"\u003e \u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e装置の基本的な状態をトラッキングすること\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\n\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e（オペレータやホスト入力は不要）。\u003c\/span\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e主要なモジュールおよび装置全体の両方について，モジュラ式に装置の基本的な状態をトラッキングすること。\u003c\/span\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eモジュールと装置の両方のレベルで，装置の基本的な状態の変化をホストコンピュータにレポートすること。\u003c\/span\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eモジュールと装置の両方のレベルで，装置がその状態にある時間をホストコンピュータにレポートすること。\u003c\/span\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eモジュールと装置の両方のレベルで，装置がタスクを実行できないようにブロックされている理由をホストコンピュータにレポートすること。\u003c\/span\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e装置のユーザは，ユーザの入力に依存せずに装置性能をトラッキングし，ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に起因する不正確さをなくす必要がある。ユーザ入力なしで装置性能をトラッキングすることは，運転のシナリオにおいて手動介入を最小限にする必要がある\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e300 mm\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eウェーハの工場では重要である。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:\n10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eは，ホストコンピュータがオペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法で装置の性能をトラッキングするために必要な装置データを取得できるようにする概念，動作，メッセージサービスを定義する。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:\n107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eにより，工場の管理者は，ユーザ入力に依存せずに，装置およびモジュール（プロセスチャンバなど）の両方のレベルで工場の装置の現状態を特定できる。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eにより，工場の技術者は，さまざまな状態において装置とモジュールによって消費された時間を評価し，改善の対象となる領域を特定できる。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eにより，工場の技術者は，装置やモジュールの動作が妨げられている理由を装置から直接取得できる。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eにより，工業技術者は，装置のデータを製造実行システム（\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eMES:\nManufacturing Execution System\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;\nmso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\nArial'\u003e）からの外部データと組み合わせると，装置レベルとモジュールレベルで\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E10\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eの状態および\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E79\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eの測定基準を正確に計算できる。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:\n10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eにより，自動化技術者は，標準化された収集イベントおよび装置の状態データを取得するためのデータ変数を使用して再使用可能なホストインターフェイスを開発できる。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこのスタンダードの範囲は，装置の動作状態および生産装置の基本的な装置性能をトラッキングするために必要なデータを定義することである。これらの要件は，ホストやオペレータの入力なしに，装置レベルとモジュールレベルでのトラッキングを容易にし，かつホストに状態情報を伝達してシンプルな装置性能のトラッキングを実行することを目的とする。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cli\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e具体的には，この資料は次の項目について記述する。\u003c\/span\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e状態変化のトリガーを定義する装置性能トラッキング\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e (EPT:\nEquipment Performance Tracking) \u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;\nmso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\nArial'\u003e状態モデル\u003c\/span\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e基本的な装置性能データをホストコンピュータに伝達するために必要なデータ変数の仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e基本的な装置性能データをホストコンピュータに伝達するために使用されるイベントメッセージの仕様\u003c\/span\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:\n107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e準拠の要件\u003c\/span\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこのスタンダードでは，ホストコンピュータがオペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法で装置の性能をトラッキングするために必要な装置データを取得できるようにする概念，動作，メッセージサービスを指定する。装置からホストコンピュータへの\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\nE10\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\nmso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eの状態のレポートではユーザ入力が必要であり，すでに\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\nE58\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\nmso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eによって指定されているので，これについては指定しない。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこのスタンダードは，\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\nE58\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\nmso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eとは矛盾せず，装置が\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\nE58\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\nmso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eによる\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\nE10\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\nmso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eの状態をレポートすることを妨げるものではない。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;\nfont-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:\nminor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこのスタンダードは，\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\nE10\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\nmso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eおよび\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\nE79\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\nmso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eの測定基準に必要な正確な装置情報をオペレータやホストの入力に依存せずに提供し，ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に起因する不正確さをなくす，\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\nE10\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\nmso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eおよび\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\nE79\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\nmso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eのための基礎的要素である。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eは，装置性能トラッキングのモジュラアプローチを提供することによって\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\nE10\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\nmso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eおよび\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\nE79\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\nmso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eの両方を支援し，装置の主要モジュールの状態によって装置の状態を決定できる。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eは，装置やモジュールの現在の動作についてタスクレベルの詳細情報を提供することによって\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\nE79\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;\nmso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eを支援し，性能測定基準をタスクレベルでトラッキングできる。\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSubordinate Standard (included)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E116.1-0707 - \u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:\n10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;mso-ascii-font-family:\nArial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:Arial;\nmso-bidi-font-family:Arial'\u003e装置性能トラッキング（\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eEPT\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e）の\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSECS-II \u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Yu Mincho\",serif;\nmso-ascii-font-family:Arial;mso-fareast-theme-font:minor-fareast;mso-hansi-font-family:\nArial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eプロトコル仕様\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\nline-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e (purchase separately)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E10 — Specification for Definition and Measurement of\nEquipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior,\nand Services\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of\nManufacturing Equipment (GEM)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E58 — Automated Reliability, Availability, and\nMaintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E79 — Standard for Definition and Measurement of\nEquipment Productivity\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E90 — Specification for Substrate Tracking\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E98 — Provisional Standard for the Object-Based\nEquipment Model (OBEM)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\n\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E101 — Provisional Guide for EFEM Functional Structure\nModel\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E116-0707E - Superseded","offer_id":40234348150851,"sku":"8081","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_S_ccb264d8-9775-43c1-96f4-6bb23cc406b1.png?v=1776702156","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/e11600-semi-e116-%e8%a3%85%e7%bd%ae%e6%80%a7%e8%83%bd%e3%83%88%e3%83%a9%e3%83%83%e3%82%ad%e3%83%b3%e3%82%b0ept%e3%81%ae%e3%81%9f%e3%82%81%e3%81%ae%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}