{"product_id":"e10900-semi-e109-レチクルおよびポッド管理に関する仕様rpms","title":"E10900 - SEMI E109 - レチクルおよびポッド管理に関する仕様(RPMS)","description":"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本仕様は，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eGlobal Information \u0026amp; Control Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術的に承認されたもので，North American Information \u0026amp; Control Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eが直接責任を負うものである。現版は2004\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年12\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e日にNorth American Regional Standards Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて承認されている。2005\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年2\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にまずwww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで入手可能になり，2005\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年3\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行に至る。初版は2001\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年7\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月に発行。前版は2004\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年11\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本文書はリソグラフィ装置，レチクル検査装置，およびベアレチクルストッカー装置のスタンダード化された挙動を規定する。リソグラフィ装置，レチクル検査装置，およびベアレチクルストッカー装置とのスタンダード化された通信も規定する。これには装置間での自動およびマニュアルレチクルポッド搬送，レチクルポッドへ／からのレチクル搬送，装置内でのレチクルの移動，レチクルポッドおよびレチクル双方の識別および検証，レチクルの検査および認証，およびレチクル使用度のトラッキングなどその他の関連情報，以上の調整，実行，および完了などが含まれる。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本文書はレチクルを扱う装置でのホスト・装置間通信に関する暫定スタンダードである。装置にはレチクルポッドの内外でレチクルを扱う装置だけが含まれる。\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本文書の範囲は自動およびマニュアルのレチクルポッド搬送，レチクルポッドへ／からのレチクル搬送，装置内でのレチクルの移動，\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eReticleID\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eの識別および検証，レチクルの検査および認証，およびレチクル使用度のトラッキングについてホストが情報を得てその役割を果たすのを容易にするようなスタンダードを定義することである。具体的にいうと，本文書では下記に関するホストと装置の相互作用を定義する状態モデルおよびシナリオを規定している：\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eビークルと，製造装置，ベアレチクルストッカー，およびレチクル検査装置レチクルロードポートの間でのレチクルポッド搬送。 \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eリソグラフィ装置内部のレチクルライブラリスペースへの／からのレチクル搬送。 \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e装置およびレチクルロードポートアクセスモードの切り替え \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eレチクルポッドとロードポートとの関連付け。 \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eレチクルポッド\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eID\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eの検証およびレチクルポッドスロットマップの検証。 \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSubordinate Document: \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI E109.1-0704 - \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eレチクルおよびPOD\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e管理（RPMS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）に対するSEC-II\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eプロトコルの暫定仕様 \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)\u003cbr\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E15 — Specification for Tool Load port\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM)\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E39 — Object Services Standard: Concept, Behavior, and Services\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E39.1 — SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS)\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E41 — Exception Management (EM) Standard\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E53 — Event Reporting\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I\/O interface\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E99 — Carrier ID Read\/Write Functional Standard\u003cbr\u003e \u003cp dir=\"ltr\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E100 — Specification for a Reticle SMIF Pod (RSP) Used to Transport and Store 6 inch or 230 mm Reticles\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E109-0305 - 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