{"product_id":"e10200-semi-e102-cimフレームワークマテリアル搬送-格納コンポーネントに関する暫定仕様","title":"E10200 - SEMI E102 - CIMフレームワークマテリアル搬送・格納コンポーネントに関する暫定仕様","description":"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e本暫定使用は，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eglobal Information \u0026amp; Control Committee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2006\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e5\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e16\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e日に発行が承認された。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2006\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e6\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月に\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ewww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで，そして\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2006\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e7\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月に\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eCD-ROM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2000\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e6\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e半導体製造工場では，ストッカ格納および工程間搬送に高い基本性能が必要である。この基本性能に加えて，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e300 mm\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eウェーハキャリアのサイズが大きくなったことおよびその重量が増大したことで必要となった人間工学的および安全要求事項を考慮すると，工程内搬送が必要となる。製造装置へ，また製造装置からの材料搬送の完全自動化を経済的に実現するため，これらストッカ，工程間搬送および工程内搬送システムは，お互いに，そしてまた，その工場の\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e製造管理システム（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMES\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e\"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eと完全に統合する必要がある。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e自動マテリアルハンドリングシステム（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）装置の基本的要求事項は，工場\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMES\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eとの効率的な統合である。そのため，本スタンダードの目的は，図\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e1\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eに示しているとおり，相互運用性を持つ\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eシステムを経済的に統合できるようにすることである。メーカーは，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e統合システムの目に見える動作および工場\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMES\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eとのインタフェースを規定する\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eスタンダードを求めている。本スタンダードの目的は，これらインタフェースおよび\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eCIM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eフレームワークの一部として\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMES\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eと\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eシステム間の連係を規定することである。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eという言葉は自動マテリアルハンドリングをサポートする装置およびシステムを幅広く指すものとして一般的に使われているが，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eCIM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eフレームワークは，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e性能一揃いに対する\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMES\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eのスタンダードインタフェースを表すマテリアル搬送・格納コンポーネント（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMTSC\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）と呼ぶソフトウェアコンポーネントを規定する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本スタンダードは，（他の\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eCIM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eフレームワークコンポーネントで代表される）工場とマテリアルトラッキング・格納コンポーネント間での実行時の相互連係に対して，製造管理システム（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMES\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）が必要とする共通インタフェースを提供する。マテリアル搬送および格納装置の構造とトラッキングを支援するインタフェースの一部は，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eCIM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eフレームワークの装置トラッキング・メンテナンスコンポーネントが担当する。それらインタフェースは，本スタンダードに記述した搬送マシンおよび格納マシンのインタフェースを補間する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eマテリアル搬送・格納コンポーネントの範囲には，下記のインタフェースが含まれる。\u003c\/p\u003e \u003cul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e特定場所へのマテリアル搬送に要する時間を予測して，マテリアル搬送のスケジューリングおよび処理を支援する。注：配送時間予測のためのインタフェースは，本暫定スタンンダードに注記したように，まだ決定していない部分として今後の活動を必要としている。 \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eマテリアルを特定の場所に移動する搬送ジョブを実行し，監視する。 \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eジョブが実行可能かどうか検証する：マテリアルは存在するか，目的地に到達可能か，格納あるいはロードポート容量が使用可能かおよびジョブを実行するのに必要なマテリアル移動リソース（車，保管スペースなど）は十分であるか。 \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e内部マテリアル移動および格納を実行するため，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e装置コントローラに作動要求を行う。マテリアル搬送・格納コンポーネントを実行するには，物理的移動および格納動作を行う装置との間の通信に\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eIBSEM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eおよびストッカ\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eなどの低レベルのスタンダードを使用する。 \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cli\u003e搬送ジョブの実行および履歴についてのデータを収集し，記録する。 \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e装置のイベントおよび故障検出を捕捉，記録，解釈および応答をする。 \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eMES\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eレベルのジョブステータスイベントおよびマテリアル場所変更イベントを発生させる。 \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cli\u003eシステム中にあるマテリアルについてその所在位置およびその搬送履歴を記録し報告する。 \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003eマテリアルのハンドオフ，ハンドシェイクプロトコルに対するマシンおよびポートインタフェースと連係する。 \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/li\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\u003c\/ul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e自動マテリアルハンドリングシステム（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）は，どの半導体工場でも重要な部分であり，通常実施されていて，別個の論理ソフトウェア要素として製造管理システム（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMES\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）と統合されている。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eは，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eフレームワーク，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e装置のためのシステムコントローラ（ソフトウェア）および搬送，格納マシン（ハードウェア）で構成されている。この伝統に従って，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eCIM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eフレームワークは，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eを「ブラックボックス」とみなす。このシステムへのインタフェースは目に見えるが，そのシステム内部の動きやコントロールは\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eサプライヤの責任であって，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMES\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eの領域ではない。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eCIM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eフレームワークでは，マテリアル搬送・格納コンポーネント（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMTSC\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）を\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMES\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eレベルでの\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eAMHS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e機能とのインタフェースと規定している。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E81 — Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E102-0600 (Reapproved 0706) - 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