{"product_id":"e10100-semi-e101-efem機能構造モデルのガイド","title":"E10100 - SEMI E101 - EFEM機能構造モデルのガイド","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0pt 21pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本スタンダードは，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eGlobal Physical Interfaces and Carriers Committee\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで\u003cspan style=\"COLOR: black\"\u003e技術的に承認されている。現版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e2010\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e4\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e30\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e日，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003eGlobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eにて発行が承認された。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e2010\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003e6\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月に\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black\"\u003ewww.semi.org\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; COLOR: black; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能となる。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e初版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2000\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月発行，前版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2004\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e11\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月発行。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e300 mm\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e世代の半導体工場において，生産性の向上は最優先すべき課題であり，これを実現するためにはコンピュータを組み込んだ製造技術または工場自動化（CIM\/FA\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e: computer-integrated manufacturing or factory automation\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e）技術がますます重要となってきている。\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e少ない費用で短期間に\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003eCIM\/FA\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eインフラストラクチャを装備するためには，かかる技術の標準化も必要である｡各スタンダードは広範囲の生産設備，通信機器およびソフトウェア装置を網羅する必要があるため，各スタンダードには高度の互換性を持たせることが非常に重要である｡機能を向上させるため，本ガイドが，工場のマテリアルハンドリングシステムと製造装置間のインタフェースにおいてキャリアおよび基板の搬送処理を行う装置フロントエンドモジュール（\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003eEFEM: Equipment Front End Module\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e）の機能構造モデルを示す。\u003cspan style=\"mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/h2\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E1.9 — Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers\u003cbr\u003eSEMI E15 — Specification for Tool Load Port\u003cbr\u003eSEMI E15.1 — Specification for 300 mm Tool Load Port\u003cbr\u003eSEMI E19 — Standard Mechanical Interface (SMIF)\u003cbr\u003eSEMI E23 — Specification for Cassette Transfer Parallel I\/O Interface\u003cbr\u003eSEMI E47.1 — Mechanical Specification for FOUPS Used to Transport and Store 300 mm Wafers\u003cbr\u003eSEMI E57 — Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers\u003cbr\u003eSEMI E64 — Specification for 300 mm Cart to SEMI E15.1 Docking Interface Port\u003cbr\u003eSEMI E84 — Specification for Enhanced Carrier Handoff Parallel I\/O Interface \u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E101-1104 (Reapproved 0710) - Inactive","offer_id":40234318299203,"sku":"5837","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_476c6051-df89-4384-9ff0-ec05e03b9e09.png?v=1776702341","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/e10100-semi-e101-efem%e6%a9%9f%e8%83%bd%e6%a7%8b%e9%80%a0%e3%83%a2%e3%83%87%e3%83%ab%e3%81%ae%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}