{"product_id":"e09800-semi-e98-オブジェクトベース装置モデルobem暫定スタンダード","title":"E09800 - SEMI E98 - オブジェクトベース装置モデル（OBEM）暫定スタンダード","description":"\u003cspan style=\"font-size: 10pt;\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\" style=\"font-size: medium;\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"arial\"\u003eNotice: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"text-align: start;\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"arial\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"arial\"\u003e免責事項：この\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cspan style=\"font-size: small;\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cspan style=\"font-size: small;\"\u003e注意：\u003c\/span\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"font-size: small;\"\u003eSEMI E98\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eは，\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E98.1\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eの改訂を反映して，\u003cfont size=\"2\"\u003e0309\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eの出版サイクルで更新された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"font-size: small;\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003eオブジェクトベース装置モデル（\u003cfont size=\"2\"\u003eOBEM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e）の目的は，次の事項を含む：\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cul style=\"\"\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont face=\"arial\"\u003e多重プロセス装置および他の複合装置へのインタフェースについての標準モデルを定義する \u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cli\u003e\n\u003cfont face=\"arial\"\u003e通信がコンポーネントに関する事項を「検討」できるように，標準装置を定義する。 \u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/li\u003e\u003c\/font\u003e\u003cli\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e装置モデルが，\u003cfont size=\"2\"\u003eOBEM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e適合装置を機械オブジェクトに接続することにより，\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E81 CIM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e構成システムに容易に統合できるように対応する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eオブジェクトベース装置モデル（\u003cfont size=\"2\"\u003eOBEM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e）スタンダードの目的は，装置自体を含み，通常，装置を構成する物理的および論理的オブジェクトの共通に見られるタイプの定義，サービス，および挙動を，ファクトリとの通信の際に見られる通りに提供することである。スタンダード化されたオブジェクトの定義を使って装置はその構成を工場側に対して開示でき，工場側は装置の内部が見えるようになる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e本規定は暫定スタンダードであり，半導体工場内の製造装置の統合を実現するための概念，挙動，およびサービスを定義するものである。本スタンダードの範囲には工場ホストシステムへのインタフェースを提供する半導体製造装置，すべてが含まれる。サービスによっては材料搬送系に適用できない場合もある。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eOBEM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e仕様を暫定版でなくするためには，以下の項目を完成しなければならない。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003col style=\"\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\" style=\"\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e§ 11.2 — \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eアクセス管理 \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cli style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\" face=\"arial\"\u003e§ 14 — OBEM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003eへの準拠 \u003cp style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003c\/ol\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e詳細なスタンダードも将来追加する予定で，\u003cfont size=\"2\"\u003eSECS-II\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e，\u003cfont size=\"2\"\u003eCORBA IDL\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eおよび\u003cfont size=\"2\"\u003eDCOM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eのような異なる製品に対する\u003cfont size=\"2\"\u003eOBEM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003eマッピングを規定する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp style=\"\"\u003e\u003cspan style=\"font-size: 10pt;\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"arial\"\u003eSubordinate Standard: \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"arial\"\u003eSEMI E98.1-1102 (Reapproved 0309) - オブジェクト基盤装置モデルのための\u003cfont size=\"2\"\u003eSECS-II\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e プロトコル用暫定仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"arial\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003e\u003cb style=\"\"\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\"\u003eSEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)\u003cbr\u003eSEMI E10 — Standard for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM)\u003cbr\u003eSEMI E15 — Specification for Tool Load Port\u003cbr\u003eSEMI E15.1 — Provisional Specification for 300 mm Tool Load Port\u003cbr\u003eSEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)\u003cbr\u003eSEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services\u003cbr\u003eSEMI E40 — Standard for Processing Management\u003cbr\u003eSEMI E41 — Exception Management (EM) Standard \u003cbr\u003eSEMI E42 — Recipe Management Standard: Concepts, Behavior, and Message Services \u003cbr\u003eSEMI E53 — Event Reporting\u003cbr\u003eSEMI E54 — Sensor\/Actuator Network Standard\u003cbr\u003eSEMI E58 — Automated Reliability, Availability, and Maintainability Standard (ARAMS): Concepts, Behavior, and Services\u003cbr\u003eSEMI E81 — Provisional Specification for CIM Framework Domain Architecture\u003cbr\u003eSEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)\u003cbr\u003eSEMI E90 — Specification for Substrate Tracking \u003cbr\u003eSEMI E94 — Specification for Control Job Management \u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E98-0309 - Inactive","offer_id":40234340253763,"sku":"5927","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E98-1106 - Superseded","offer_id":40234340286531,"sku":"7715","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_S_d2a534d7-f488-4b94-b7ba-c43954362884.png?v=1776702267","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/e09800-semi-e98-%e3%82%aa%e3%83%96%e3%82%b8%e3%82%a7%e3%82%af%e3%83%88%e3%83%99%e3%83%bc%e3%82%b9%e8%a3%85%e7%bd%ae%e3%83%a2%e3%83%87%e3%83%abobem%e6%9a%ab%e5%ae%9a%e3%82%b9%e3%82%bf%e3%83%b3%e3%83%80%e3%83%bc%e3%83%89","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}