{"product_id":"e09100-semi-e91-プローバ独自の装置モデルpsemに関する仕様","title":"E09100 - SEMI E91 - プローバ独自の装置モデル（PSEM）に関する仕様","description":"\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本スタンダードは，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eglobal Information \u0026amp; Control Committee\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2009\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e9\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e4\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e日，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eにて発行が承認された。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2009\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e10\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月に\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003ewww.semi.org\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで，そして\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2009\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e11\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月に\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eCD-ROM\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e1999\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e9\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月発行，前版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2000\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e6\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月に発行された。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003co:p\u003e \u003c\/o:p\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: EN-US; mso-ansi-language: EN-US; mso-bidi-language: AR-SA; mso-bidi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本文書はプローバ装置のための独自の装置モデル（\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: EN-US; mso-fareast-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: EN-US; mso-bidi-language: AR-SA\"\u003ePSEM\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: EN-US; mso-ansi-language: EN-US; mso-bidi-language: AR-SA; mso-bidi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e）を記すものである。\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: EN-US; mso-fareast-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: EN-US; mso-bidi-language: AR-SA\"\u003ePSEM\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: EN-US; mso-ansi-language: EN-US; mso-bidi-language: AR-SA; mso-bidi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eはこのクラスの装置に適用される装置特性および装置ビヘイビアで構成され，\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: EN-US; mso-fareast-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: EN-US; mso-bidi-language: AR-SA\"\u003eSEMI E30\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: EN-US; mso-ansi-language: EN-US; mso-bidi-language: AR-SA; mso-bidi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e（\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: EN-US; mso-fareast-font-family: 'Times New Roman'; mso-ansi-language: EN-US; mso-bidi-language: AR-SA\"\u003eGEM\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: EN-US; mso-ansi-language: EN-US; mso-bidi-language: AR-SA; mso-bidi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e）に規定されている基本的要求条件および追加性能に加えて実装するよう要求されている。本文書の目的はプローバ装置を自動化された半導体工場に容易に統合できるようにすることである。そのために本文書ではファクトリオートメーションコントローラの観点から見たプローバモデルのオペレーションモデルを定義している。この定義によってスタンダードなホストインタフェースおよび装置のオペレーションに関するビヘイビアが提供されている。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)\u003cbr\u003eSEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM)\u003cbr\u003eSEMI M20 — Specification for Establishing a Wafer Coordinate System\u003cbr\u003eSEMI M21 — Specification for Assigning Addresses to Rectangular Elements in a Cartesian Array\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E91-0600 (Reapproved 1109) - Superseded","offer_id":40234349133891,"sku":"8247","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E91-0600 - Superseded","offer_id":40234349264963,"sku":"8248","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_S_97075dc9-ba04-43cd-931f-047d05751bac.png?v=1776702085","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/e09100-semi-e91-%e3%83%97%e3%83%ad%e3%83%bc%e3%83%90%e7%8b%ac%e8%87%aa%e3%81%ae%e8%a3%85%e7%bd%ae%e3%83%a2%e3%83%87%e3%83%abpsem%e3%81%ab%e9%96%a2%e3%81%99%e3%82%8b%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}