{"product_id":"e09000-semi-e90-기판-추적-사양","title":"E09000 - SEMI E90 - 기판 추적 사양","description":"\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY: Arial\"\u003e \u003cfont lang=\"KO\" size=\"1\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\" size=\"1\" face=\"Malgun Gothic,Malgun Gothic\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e이\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e표준은 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e기술적으로 Global Information \u0026amp; Control Technical Committee\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e에 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e의해 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e승인되었으며, \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e이 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e개정판의 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e발행은 2011\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e년 12\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e월 24\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e일Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e에 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e의해 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e승인되었다. \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e원본은 1999\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e년에 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e발행되었으며, \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e이전 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e개정판은 2011\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e년에 11\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e월에 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e발행되었다. \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e최신본은 www.semiviews.org\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e와 www.semi.org\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e에서 2012\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e년 3\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e월부터 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e이용 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e가능하다. \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e이\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e표준의 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e목적은 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e제조 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e장비에서 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e기판(substrate\/\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e제조되는 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e제품)\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e을 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e추적하기 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e위해 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e장비의 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e표준 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e서비스를 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e제공하는 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e것이다. \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e이 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e표준은 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e메시지\/\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e서비스뿐만 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e아니라 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e기판(substrates)\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e의 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e관리 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e정보에 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e대한 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e개념과 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e동작을 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e정의한다.\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e기본적으로\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e장비가 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e기판(substrate)\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e의 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e정보 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e관리를 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e위해 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e서비스를 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e제공하여야만 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e하며, \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e기판(substrate)\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e에 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e대한 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e정보는 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e공장 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e시스템에 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e의해 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e관리되어야 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e한다. \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e이 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e표준은 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e장비에 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e존재하는 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e기판(substrate)\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e의 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e정보를 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e관리하는 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e장비 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e서비스에 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e대한 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e요구사항을 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e명시한다.\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e이\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e표준의 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e범위는 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e사용자가 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e요청할 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e수 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e있는 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e장비의 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e서비스 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e정보를 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e정의하는 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e것이다. \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e요청된 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e서비스를 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e명확하게 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e하기 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e위해, \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e기판(substrate)\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e의 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e개념과 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e동작, \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e기판(substrate)\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e의 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e위치, \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e배치(batch)\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e와 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e배치(batch)\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e의 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e위치가 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e정의된다.\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e이\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e표준은 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e기판(substrate)\u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e을 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e다루는 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e제조 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e장비에서 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e적용 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e가능하며, \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e이러한 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e서비스의 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e실행을 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e위해 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e장비와 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e공장 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e시스템은 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e어떠한 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e방법을 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e통해서든지 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e통신 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e연결을 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e통해 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e통합되어야 \u003cfont lang=\"KO\"\u003e\u003cfont lang=\"KO\"\u003e한다.\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003e   \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSubordinate Document: \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\" size=\"2\"\u003eSEMI E90.1-0312 - \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-WEIGHT: normal; mso-bidi-font-family: Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003eSpecification for SECS-II Protocol Substrate Tracking\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003eSEMI E5 — SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS-II)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003eSEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003eSEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003eSEMI E39.1 — SECS-II Protocol for Object Services Standard (OSS)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003eSEMI E53 — Event Reporting\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003eSEMI E87 — \u003cspan style=\"LAYOUT-GRID-MODE:\" line\u003eSpecification for Carrier Management (CMS)\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E90-0312 - Superseded","offer_id":40234344611907,"sku":"8245","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_S_c9cba725-f651-4932-86f3-e69ea6335941.png?v=1776702086","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/e09000-semi-e90-%ea%b8%b0%ed%8c%90-%ec%b6%94%ec%a0%81-%ec%82%ac%ec%96%91","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}