{"product_id":"e08900-semi-e89-測定システム分析msaのガイド","title":"E08900 - SEMI E89 - 測定システム分析（MSA）のガイド","description":"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ethe Metrics Global Technical Committee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2012\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e12\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e月\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e20\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e日，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eにて発行が承認された。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2013\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e3\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e月に\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ewww.semiviews.org\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eおよび\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e www.semi.org\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e1999\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e9\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e月発行。前版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2007\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e7\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e: \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本ガイドの目的は，一連の一貫した用語を提示し，測定システム分析（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMSA : measurement system analysis\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e）の計画および実施に対する簡略化した推定的実験的アプローチについて記述することにある。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eMSA\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eの目標は，製造やラボの環境で使用されることを意図して測定システム（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e）の性能を特性評価することである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eMS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eの偏り，サイズ，およびすべての変動性のソースを正確に特定することにより，その\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eが意図した機能を実行する能力があるかどうかを決定できる。さらに，よく設計された\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMSA\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eを使用して最も改善が必要な領域を特定し，定量化できる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本ガイドは，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eの能力の特定の尺度を決定するための手順を記載し，次の項目を含む。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e次の項目を含むさまざまな条件における測定の変動性（つまり，繰返し精度）\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e \u003cul\u003e \u003cul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e繰返し精度の影響\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003eロード，アンロード状態\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e時間\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003c\/ul\u003e \u003cul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e偏りおよび偏りに関連する次の項目を含む\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e \u003cul\u003e \u003cul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e線形性\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e安定性\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e適合許容公差\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003c\/ul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本ガイドは，測定精度と許容範囲の比率（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eP\/T\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e）や信号対雑音比（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSN\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e比）等の二次的測定基準についても記載する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本ガイドの第一の焦点は，通常の操業状態での自動ウェーハ測定システムの測定能力に関するものであるが，定義や方法は，処理されたダイス，パッケージ化されたデバイス，フラットパネルディスプレイ，部品片等のユニット自動測定に関わるその他の多くの測定状況にも拡張できる。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eMSA\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eの実行については一般に受け入れられる正しい方法はないが，本ガイドで説明するアプローチは技術資料（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e§11\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eを参照）によってサポートされ，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eISO 5725-2\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eで提示されている方法に一致する。本ガイドに記載されている手順は，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMSA\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eを実行するためのアプローチについて記述し，さまざまな用途に対して機能しなければならない基準となる基本的な方法について記載する。特定の環境においては，他の方法が適切であることもある。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e非システム的（つまりランダムな）誤差のさまざまなソースを分離することを意図した本ガイドの手順は，要因分析および分散分析（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eANOVA\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e）に基づいている。本ガイドの第一日の焦点は自動\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho,‚l‚r ‚o–¾’©\"\u003eの評価であるため，異なるオペレータによって持ち込まれる変動は最小であると予測する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eNone.\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E89-0707 (Reapproved 0313) - Inactive","offer_id":40234340089923,"sku":"5919","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E89-0707 - 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