{"product_id":"e07400-semi-e74-真空ポンプのインタフェースの仕様-ターボモレキュラーポンプ","title":"E07400 - SEMI E74 - 真空ポンプのインタフェースの仕様　－　ターボモレキュラーポンプ","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e免責事項：\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e　このSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003ePhysical Interfaces \u0026amp; Carriers Global Technical Committee.\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術的に承認されている。現版は2012\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年12\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月20\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e日，global Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて発行が承認された。2013\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年4\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にwww.semiviews.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eおよび www.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで入手可能となる。初版は1998\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年6\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行。前版は2007\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年3\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードは，ターボモレキュラーポンプ\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e (TMP) \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eタイプの真空ポンプに関する物理的および電気的インタフェースを規定する。ポンプのインタフェースを標準化することによって，ポンプに互換性を持たせることができる。デバイスメーカーはプロセス装置を調達する際，本文書を使用するが，それは，ポンプの互換性に要求されるインタフェースを装置サプライヤに対して指定するためである。半導体プロセス装置サプライヤも，ポンプサプライヤに対して標準化されたインタフェースを指定する目的で，本文書を使用する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e300 mm\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e半導体プロセス装置に提供される真空ポンプに適用される。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本スタンダードは，以下のターボモレキュラーポンプの機械的および電気的インタフェースを規定する：\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e• \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e機械的コネクタと位置\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e• \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e制御信号とコネクタ\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e• \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e電源とコネクタ\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI S2 — Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E74-0301 (Reapproved 0413) - Inactive","offer_id":40234342842435,"sku":"5911","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI E74-0301 (Reapproved 0307) - Superseded","offer_id":40234342940739,"sku":"7776","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_6be9508d-7fc5-4ab2-927f-afb8e0af0d4e.png?v=1776702278","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/e07400-semi-e74-%e7%9c%9f%e7%a9%ba%e3%83%9d%e3%83%b3%e3%83%97%e3%81%ae%e3%82%a4%e3%83%b3%e3%82%bf%e3%83%95%e3%82%a7%e3%83%bc%e3%82%b9%e3%81%ae%e4%bb%95%e6%a7%98-%e3%82%bf%e3%83%bc%e3%83%9c%e3%83%a2%e3%83%ac%e3%82%ad%e3%83%a5%e3%83%a9%e3%83%bc%e3%83%9d%e3%83%b3%e3%83%97","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}