{"product_id":"e06600-semi-e66-マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法","title":"E06600 - SEMI E66 - マスフローコントローラのパーティクル発生測定のテスト方法","description":"\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eglobal Gases Committee\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2011\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e5\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e13\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e日，\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eにて発行が承認された。\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2011\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e6\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月に\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003ewww.semiviews.org\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eおよび\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e www.semi.org\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e2003\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e年\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e11\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本テストの目的は，高純度ガスシステムでの使用を意図したマスフローコントローラにより，パーティクル発生を測定することである。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI E29 — Terminology for the Calibration of Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping Systems and Components\u003co:p\u003e\u003c\/o:p\u003e\u003cbr\u003e \u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E66-0611 - 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