{"product_id":"e05800-semi-e58-自動化による信頼性-有用性-および整備性に関するスタンダードarams-コンセプト-挙動-およびサービス","title":"E05800 - SEMI E58 - 自動化による信頼性，有用性，および整備性に関するスタンダード（ARAMS）：コンセプト，挙動，およびサービス","description":"\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e免責事項：\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e　このSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本仕様は，\u003cfont size=\"2\"\u003e Information \u0026amp; Control Global Technical Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで技術的に承認されたもので，North American Information \u0026amp; Control Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eが直接責任を負うものである。現版は2000\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月19\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e日にNorth American Regional Standards Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて承認された。2001\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年1\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にまずwww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで入手可能になり，2001\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年3\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行に至る。初版は，1997\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年6\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e注意：\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E58\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eは2003\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年7\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にサブドキュメントSEMI E58.1\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eが再承認されたため改訂年月が更新された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use.\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本文書では\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eに従った装置レベルでのSEMI E10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eの状態の変化を実装および収集するためのスタンダードが提供されている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eではさまざまな用語および装置状態が定義されているが，特に自動化された装置によるアプリケーションのために書かれているわけではない。本文書の目的は正式な状態モデル手法を用いてそういった装置状態に一貫した解釈を与えることである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eARAMS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eでは半導体工場内の自動化されたシステムの統合をサポートするためのコンセプト，挙動，およびメッセージサービスを定義する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003ci\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e背景および動機\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e－ \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e自動化された装置でのSEMI E10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e状態の統合を果たすためには，定義および要求事項の統合を詳細かつ正確にして，装置サプライヤを問わず解釈が一貫するようにしなければならない。これによって装置自体が情報を自動的に保持するチャンスが与えられる。\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e一貫した状態モデルを応用して装置で\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eデータ収集を自動的に行うことによって装置サプライヤと装置ユーザの双方が利益を得る。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E10\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eでは特定の状態を定義するが，状態間の遷移は扱っていない。ARAMS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eスタンダードは自動化された装置によって行われる状態遷移のトリガーも規定する。本文書に記されているSEMI E10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eの拡張は自動化された装置によって下された決定にだけ適用される。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのスタンダードは以下の関係に適用される。従来のホスト／装置，オペレータ／装置，およびクラスタツールコントローラ／付属モジュール。本文書の範囲は，装置レベルでの\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e関連データの補足および通信を簡単にするスタンダードを定義することである。特に，本文書は下記のことを提供する：\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e装置状態変更のための規則を定義する装置状態モデル\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E10\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで定義されている6\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eつの基本的装置状態の下位状態を表すための標準装置コード\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e装置が生成するデータの定義\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e情報を交換するために必要なコンセプトおよびメッセージ\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eARAMS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eに準拠するための基本的な要求事項\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eオプションの追加性能要求\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこのスタンダードは\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI E10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eの補足として，装置がSEMI E10\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eをサポートするために使われることを目的とする。両方の文書に共通して使われている用語すべての正式な定義はSEMI E10\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS Mincho,‚l‚r –¾’©\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eにだけ書かれている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSubordinate Standard: \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eSEMI E58.1-0697 (Reapproved 0703) - \u003cspan lang=\"EN\"\u003e自動化による信頼性，有用性，および整備性に関するスタンダード（ARAMS\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）： \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eコンセプト，挙動，およびサービスのためのSECS-\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eⅡ\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e プロトコル\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E10 — Standard for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM)\u003cbr\u003eSEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of SEMI Equipment (GEM)\u003cbr\u003eSEMI E38 — Cluster Tool Module Communications (CTMC)\u003cbr\u003eSEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services\u003cbr\u003eSEMI E41 — Exception Management (EM) Standard\u003cbr\u003eSEMI E42 — Recipe Management Standard: Concepts, Behavior, and Message Services\u003cbr\u003eSEMI E53 — Event Reporting \u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E58-0703 - 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