{"product_id":"e05600-semi-e56-熱マスフローコントローラの精度-直線性-リピータビリティ-短期再現性-ヒステリシス履歴現象およびデッドバンドを判断するテスト方法","title":"E05600 - SEMI E56 - 熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシス（履歴現象）およびデッドバンドを判断するテスト方法","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本ドキュメントの目的は，熱マスフローコントローラの精度，直線性，リピータビリティ，短期再現性，ヒステリシスおよびデッドバンドを定量化するための標準化された方法を提供するものである。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本ドキュメントの意図は，特殊なテストプログラムを提案することでなく，ここに含まれているパラメータをテストをする時に使用するテスト方法を定めることにある。ユーザは，厳しくコントロールされたテスト条件に基づいて精度や精密度，バイアス（歪み），直線性，短期再現性およびデッドバンドを調べるためにこのドキュメントを利用することができる。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本方法において精度を計算する意義は，マスフローコントローラ（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMFC\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e）の\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e1\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e人のユーザが\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e1\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003eつのプロセスにおいてある製造装置から別の装置へと移動すること，そしてプロセスコントロールをする間に\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e1\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e台の製造装置内で\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMFC\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003eを交換することを可能にすることにある。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本ドキュメントは熱マスフローコントローラ（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMFC\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e）の精度，直線性，リピータビリティ，ヒステリシスおよびデッドバンドをテストするための条件および手順を説明する。本ドキュメントの包括的な性格により，テストのすべての手順がすべての種類の\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMFC\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003eに適用するとは限らない。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS Mincho,Yu Gothic UI\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本ドキュメントはメーカーとユーザとの間のコミュニケーションの共通基盤を提供するものである。\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E17 — Guideline for Mass Flow Controller Transient Characteristics Tests\u003cbr\u003e \u003cfont\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E56-1296 - Superseded","offer_id":40234352902211,"sku":"8228","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_f8cc7d86-ea37-405a-916c-4bf8d5e04e28.png?v=1776702095","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/e05600-semi-e56-%e7%86%b1%e3%83%9e%e3%82%b9%e3%83%95%e3%83%ad%e3%83%bc%e3%82%b3%e3%83%b3%e3%83%88%e3%83%ad%e3%83%bc%e3%83%a9%e3%81%ae%e7%b2%be%e5%ba%a6-%e7%9b%b4%e7%b7%9a%e6%80%a7-%e3%83%aa%e3%83%94%e3%83%bc%e3%82%bf%e3%83%93%e3%83%aa%e3%83%86%e3%82%a3-%e7%9f%ad%e6%9c%9f%e5%86%8d%e7%8f%be%e6%80%a7-%e3%83%92%e3%82%b9%e3%83%86%e3%83%aa%e3%82%b7%e3%82%b9%e5%b1%a5%e6%ad%b4%e7%8f%be%e8%b1%a1%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e3%83%87%e3%83%83%e3%83%89%e3%83%90%e3%83%b3%e3%83%89%e3%82%92%e5%88%a4%e6%96%ad%e3%81%99%e3%82%8b%e3%83%86%e3%82%b9%e3%83%88%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}