{"product_id":"e05415-semi-e54-15-safetybus-p用センサ-アクチュエータ-ネットワーク通信に関する仕様","title":"E05415 - SEMI E54.15 - SafetyBUS p用センサ／アクチュエータ・ネットワーク通信に関する仕様","description":"\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e本スタンダードは，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eglobal Information \u0026amp; Control Committee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで技術的に承認されている。現版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2007\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e9\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e5\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e日，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eglobal Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eにて発行が承認された。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2007\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e10\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月に\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003ewww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで，そして\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2007\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e11\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月に\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eCD-ROM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eで入手可能となる。初版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2005\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月発行，前版は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e2006\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e年\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e7\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e月に発行された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意：　本文書は，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI E54\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本スタンダードは，半導体製造装置における\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e指定の（共通およびデバイス固有の）デバイス・モデルにしたがって動作するセンサ／アクチュエータ・ネットワーク（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSAN\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）上のインテリジェント・デバイス間の通信を可能にする\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSafetuBUS p\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eプロトコルを基本とした通信仕様を定義する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003ci\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e背景と動機\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/i\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eSafetyBUS p\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eは，産業デバイス（センサやアクチュエータなど）とコントローラなどのより高いレベルのデバイス（プログラマブルな制御システムなど）との間に単純かつ低コストで早くて決定的なデータ交換手段を提供しながら，信頼性ある動作をサポートする高い優先度レベルでの情報の通信を提供するデバイス・レベル・ネットワークである。\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSafetyBUS p\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eは以下を提供する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e低レベル・デバイスのネットワーク化に対するソリューション\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e低レベル・デバイスに存在するインテリジェンスへのアクセス\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003eより高いレベルのコントローラとのネットワーク化\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003eマスター／スレーブおよびピアツーピア通信機能\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003eデバイスに必須の情報のシリアル通信\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003c\/ul\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eSafetyBUS p\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eは，通信モデルおよびプロトコルを定める。物理層およびデータ･リンク層の定義はコントローラ・エリア・ネットワーク（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eCAN\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）技術によって定義され，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eCAN\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e仕様は媒体アクセス制御（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eMAC\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）方法論と物理的な信号伝達特性を提供する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本文書は，共通および特定デバイス・ネットワークの目に見える構造や挙動の\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSafetyBUS p\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eネットワークに対するマッピングを提供して\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eに準拠する\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSAN\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e上にあるインテリジェント・デバイス間の通信を可能にする。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSafetyBUS p \u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e用ネットワーク通信スタンダード仕様は，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSafetyBUS p\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e技術の使用に対する安全ガイドラインを意図するものではない。本文書は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSafetyBUS p\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eプロトコルに対するオブジェクト通信仕様（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eOCS\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）に基づいて\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSAN\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e通信スタンダード仕様を定めるものである。本\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSAN\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eは\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI E54.1\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eに準拠して構成されている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本文書は，準拠するインテリジェント･デバイスが\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSafetyBUS p\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e半導体装置センサ／アクチュエータ・ネットワーク上で情報を交換するためにサポートしなければならないプロトコルおよびサービスを定める。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本文書は\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSafetyBUS p\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eプロトコルの使用を定めて\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSafetyBUS p\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eネットワーク上の共通デバイス・モデル（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eCDM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）や適切な特定デバイス・モデル（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSDM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）にて定められた外部から目に見えるデバイス構造や挙動を示す。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e本文書は，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eスタンダード\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSAN\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e共通デバイス･モデル仕様，および\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eスタンダード特定デバイス・モデル（\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSDM\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e）仕様（例えばマスフロー・デバイス），および\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSafetyBUS p\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eオブジェクト通信仕様参照ガイドに関連して使用される。これらを合わせ，\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSafetyBUS p\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eプロトコルや\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSEMI\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e準拠の\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSAN\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eシステム内で\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eSafetyBUS p\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"MS PMincho\"\u003eネットワーク化機能を使用するデバイスの外部から見えるデータ構造と挙動を記述する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e　\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003eReferenced SEMI Standards\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services (OSS) \u003cbr\u003eSEMI E54 — Sensor\/Actuator Network Standard\u003cbr\u003eSEMI E54.1 — Standard for Sensor\/Actuator Network Common Device Model\u003cbr\u003eSEMI E54.3 — Specification for Sensor\/Actuator Network Specific Device Model for Mass Flow Device\u003cbr\u003eSEMI E54.10 — Specification for Sensor\/Actuator Network Specific Device Model for an In-Situ Particle Monitor Device\u003cbr\u003eSEMI E54.11 — Specification for Sensor\/Actuator Network Specific Device Model for an Endpoint Device\u003cbr\u003eSEMI E54.18 — Specification for Sensor\/Actuator Network Specific Device Model for Vacuum Pump Device \u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI E54.15-1107 - Superseded","offer_id":43106883469379,"sku":"5896","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/EVolume_S_bf303e0e-21e3-461e-8c73-07cca26c3b03.png?v=1776702290","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/en-jp\/products\/e05415-semi-e54-15-safetybus-p%e7%94%a8%e3%82%bb%e3%83%b3%e3%82%b5-%e3%82%a2%e3%82%af%e3%83%81%e3%83%a5%e3%82%a8%e3%83%bc%e3%82%bf-%e3%83%8d%e3%83%83%e3%83%88%e3%83%af%e3%83%bc%e3%82%af%e9%80%9a%e4%bf%a1%e3%81%ab%e9%96%a2%e3%81%99%e3%82%8b%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}